技術(shù)參數(shù)
型號 | DT2B |
流量范圍 | 0--5/10/20/30/50/100/200/300/500 SCCM (小通道) |
工作壓差范圍 | ≤10SLM 0.10~0.50 Mpa (小通道) |
耐壓 | 3 MPa |
工作環(huán)境溫度 | 5℃~45℃ |
響應(yīng)時間 | ≤0.3 sec |
閥門開啟/關(guān)閉電壓 | 閥門開啟電壓:<9V DC;閥門全開電壓:>12V DC |
漏氣率 | 單點(diǎn)<1x10-8 SCCS He |
工作電源 | 0~15V DC ≤3.5W |
出入口接頭 | Φ3、1/8″、Φ6、1/4″、3/8″、Φ10、1/2″標(biāo)準(zhǔn)雙卡套接頭和VCR 1/4″陽接頭。 |
金屬材料 | 316L |