Servomex 含水量和含氧量測量分析儀
DF-760E超微量水分分析儀是一款結(jié)合庫倫電量法和可調(diào)諧激光二極管傳感器的分析儀，適合在超高
純電子級氣體中檢測微量級雜質(zhì)水含量以實(shí)現(xiàn)質(zhì)量控制。
Servomex DF-760E 含水量和含氧量測量儀
DF-760E超微量水分分析儀是一款結(jié)合庫倫電量法和可調(diào)諧激光二極管傳感器的分析儀，適合在超高
純電子級氣體中檢測微量級雜質(zhì)水含量以實(shí)現(xiàn)質(zhì)量控制。
產(chǎn)品特點(diǎn)
水分測量采用高度穩(wěn)定的可調(diào)諧激光二極管傳感器
氧氣測量采用非消耗型傳感器，保修期長達(dá)5年
低維護(hù)
一臺儀器適用于多種背景氣體測量
典型應(yīng)用
集成電路板工廠的大宗氣體質(zhì)量控制
密閉性檢測
規(guī)格
氣體類型： O2
技術(shù)庫倫電量法非消耗型電化學(xué)傳感器可調(diào)諧激光二極管
性能
最大工作量程： 0-20ppm 0-20ppm
最小推薦輸出范圍： 0-1ppb 0-2ppb
基本誤差（精度）： +/- 3%讀數(shù)或+/- 0.1ppb（以最大者為準(zhǔn)） +/- 3%讀數(shù)或+/- 0.2ppb（以最大者為準(zhǔn)）
響應(yīng)時間(T90): 小于15秒在1升/分下小于3分鐘
零點(diǎn)漂移/月： 可忽略可忽略
量程漂移/月： 可忽略可忽略
檢測限（LDL）： 75ppt 200ppt
失?；謴?fù)時間： 恢復(fù)到以前穩(wěn)定讀數(shù)±10ppb內(nèi)不超過5分鐘恢復(fù)到以前穩(wěn)定讀數(shù)±10ppb內(nèi)不超過5分鐘
標(biāo)配功能
輸出： 水分和氧氣測量均采用隔離4-20mA dc并可選0-1、0-2、0-5或0-10V dc（可在標(biāo)定期間設(shè)置凍結(jié)模擬輸出）
輸出范圍： 可比例調(diào)整至0-2ppb或0-20ppm之間的任意范圍
聲光報警： 4個氧氣含量、4個水分含量、溫度、電解液狀態(tài)、水分傳感器診斷、低流量、零點(diǎn)驗(yàn)證或標(biāo)定進(jìn)行中、水分分
析儀掉線、標(biāo)定期間氧氣模擬輸出凍結(jié)控制
雙比例范圍： 兩個自定義次要模擬輸出范圍，在超出主要范圍后可重新比例調(diào)整輸出
繼電器觸點(diǎn)： 4個非閉鎖觸點(diǎn)，可獨(dú)立分配給氧氣報警或氧氣標(biāo)定進(jìn)行中指示器，以及4個非閉鎖觸點(diǎn)，可獨(dú)立分配給水分報
警。SPDT觸點(diǎn)額定值為30V dc，5 A。
串行通信： 出廠配置RS 232或RS 485雙向串行通信
氣體輸送系統(tǒng)： 采用氣動無彈簧隔膜閥、零死體積對焊組件實(shí)現(xiàn)傳感器隔離和零點(diǎn)驗(yàn)證；大容量凈化器濾除任何水分和氧氣，
確保高精度零點(diǎn)（不適用于氧氣樣本）；伴熱溫控型送樣系統(tǒng)；低接觸面積的集成壓力調(diào)節(jié)器；帶流量控制
的旁通回路；¼” VCR進(jìn)口接頭、¼” 卡套旁通出口接頭、至真空源的¼”卡套出口接頭、?”氣動氣體卡套入
口接頭。
引射器真空源： 引射器入口和出口帶¼”卡套接頭
安裝： 19”機(jī)架安裝NEMA 1外殼
選項
泵真空源： 泵入口和出口帶¼”卡套接頭
氫氣安全系統(tǒng)吹掃： 氫氣配套的可選安全系統(tǒng)包括：送樣聯(lián)鎖、殼體吹掃閥和可選外部真空泵的NEMA 4外殼和Z型吹掃保護(hù)系統(tǒng)。
真空泵的NEMA 4外殼和Z型吹掃保護(hù)系統(tǒng)為選配（注：氫氣安全系統(tǒng)將繼電器數(shù)目由4個限定為3個）。
樣氣
溫度： 10°C至80°C（50°F至176°F），建議將采樣線路加熱至60°C
露點(diǎn)： 環(huán)境溫度以下5°C (9°F)
條件： 無油、非腐蝕性、非凝氣
塵埃： 小于2μm微粒
排空： 大氣壓。
樣氣流量： 2至5 l/min（僅適用于氮?dú)猓?mdash;其他背景氣體請聯(lián)系仕富梅
旁通流量： 0.25至2.5l/min
樣氣壓力： 30至150psig（3.08至11.3 BarA）
DF-760E超微量水分分析儀是一款結(jié)合庫倫電量法和可調(diào)諧激光二極管傳感器的分析儀，適合在超高
純電子級氣體中檢測微量級雜質(zhì)水含量以實(shí)現(xiàn)質(zhì)量控制。
產(chǎn)品特點(diǎn)
水分測量采用高度穩(wěn)定的可調(diào)諧激光二極管傳感器
氧氣測量采用非消耗型傳感器，保修期長達(dá)5年
低維護(hù)
一臺儀器適用于多種背景氣體測量
典型應(yīng)用
集成電路板工廠的大宗氣體質(zhì)量控制
密閉性檢測
規(guī)格
氣體類型： O2
技術(shù)庫倫電量法非消耗型電化學(xué)傳感器可調(diào)諧激光二極管
性能
最大工作量程： 0-20ppm 0-20ppm
最小推薦輸出范圍： 0-1ppb 0-2ppb
基本誤差（精度）： +/- 3%讀數(shù)或+/- 0.1ppb（以最大者為準(zhǔn)） +/- 3%讀數(shù)或+/- 0.2ppb（以最大者為準(zhǔn)）
響應(yīng)時間(T90): 小于15秒在1升/分下小于3分鐘
零點(diǎn)漂移/月： 可忽略可忽略
量程漂移/月： 可忽略可忽略
檢測限（LDL）： 75ppt 200ppt
失?；謴?fù)時間： 恢復(fù)到以前穩(wěn)定讀數(shù)±10ppb內(nèi)不超過5分鐘恢復(fù)到以前穩(wěn)定讀數(shù)±10ppb內(nèi)不超過5分鐘
標(biāo)配功能
輸出： 水分和氧氣測量均采用隔離4-20mA dc并可選0-1、0-2、0-5或0-10V dc（可在標(biāo)定期間設(shè)置凍結(jié)模擬輸出）
輸出范圍： 可比例調(diào)整至0-2ppb或0-20ppm之間的任意范圍
聲光報警： 4個氧氣含量、4個水分含量、溫度、電解液狀態(tài)、水分傳感器診斷、低流量、零點(diǎn)驗(yàn)證或標(biāo)定進(jìn)行中、水分分
析儀掉線、標(biāo)定期間氧氣模擬輸出凍結(jié)控制
雙比例范圍： 兩個自定義次要模擬輸出范圍，在超出主要范圍后可重新比例調(diào)整輸出
繼電器觸點(diǎn)： 4個非閉鎖觸點(diǎn)，可獨(dú)立分配給氧氣報警或氧氣標(biāo)定進(jìn)行中指示器，以及4個非閉鎖觸點(diǎn)，可獨(dú)立分配給水分報
警。SPDT觸點(diǎn)額定值為30V dc，5 A。
串行通信： 出廠配置RS 232或RS 485雙向串行通信
氣體輸送系統(tǒng)： 采用氣動無彈簧隔膜閥、零死體積對焊組件實(shí)現(xiàn)傳感器隔離和零點(diǎn)驗(yàn)證；大容量凈化器濾除任何水分和氧氣，
確保高精度零點(diǎn)（不適用于氧氣樣本）；伴熱溫控型送樣系統(tǒng)；低接觸面積的集成壓力調(diào)節(jié)器；帶流量控制
的旁通回路；¼” VCR進(jìn)口接頭、¼” 卡套旁通出口接頭、至真空源的¼”卡套出口接頭、?”氣動氣體卡套入
口接頭。
引射器真空源： 引射器入口和出口帶¼”卡套接頭
安裝： 19”機(jī)架安裝NEMA 1外殼
選項
泵真空源： 泵入口和出口帶¼”卡套接頭
氫氣安全系統(tǒng)吹掃： 氫氣配套的可選安全系統(tǒng)包括：送樣聯(lián)鎖、殼體吹掃閥和可選外部真空泵的NEMA 4外殼和Z型吹掃保護(hù)系統(tǒng)。
真空泵的NEMA 4外殼和Z型吹掃保護(hù)系統(tǒng)為選配（注：氫氣安全系統(tǒng)將繼電器數(shù)目由4個限定為3個）。
樣氣
溫度： 10°C至80°C（50°F至176°F），建議將采樣線路加熱至60°C
露點(diǎn)： 環(huán)境溫度以下5°C (9°F)
條件： 無油、非腐蝕性、非凝氣
塵埃： 小于2μm微粒
排空： 大氣壓。
樣氣流量： 2至5 l/min（僅適用于氮?dú)猓?mdash;其他背景氣體請聯(lián)系仕富梅
旁通流量： 0.25至2.5l/min
樣氣壓力： 30至150psig（3.08至11.3 BarA）
