產(chǎn)品名稱：

中國光電URE-2000A型光刻機

產(chǎn)品特點：

◆ 曝光面積：150mm×150mm

◆ 分辨力：0.8-1μm（膠厚2μm的正膠）

◆ 對準精度：0.6μm

◆ 掩模樣片整體運動范圍：X：6mm;Y:6mm

◆ 掩模尺寸：3英寸、4英寸、5英寸、7英寸

◆ 樣片尺寸：直徑15mm-- 150mm；厚度0.1mm--8mm

◆ 照明均勻性： 3.5%（100mm 范圍）； 5%（ 150mm范圍）

◆ 掩模相對于樣片運動行程：X: 5mm; Y: 5mm; : 6度

◆ *膠厚：500m(SU8膠，用戶提供勻膠條件)

◆ 光源平行性：3.5

◆ 汞燈功率：1000W（直流）

◆ 曝光設(shè)定方式：定時（倒計時方式0.1s-999.9s任意設(shè)定）

◆ 外形尺寸:1400mm（長）1200mm(寬) 2150mm（高）

技術(shù)參數(shù) 配置:

（1）曝光頭

◆冷光橢球鏡

◆1000W進口直流高壓汞燈(德國歐司朗,長壽命型)

◆XYZ汞燈調(diào)節(jié)臺

◆光學系統(tǒng)：固定光欄、可變光欄、快門、準直鏡鏡1

、準直鏡鏡2、蠅眼透鏡組（100個透鏡）、i線濾光片

、場鏡1、場鏡2、冷光反射鏡1、反射鏡2

◆冷卻風扇

◆循環(huán)水冷系統(tǒng)

（2）對準工件臺

◆掩模樣片整體運動臺

◆掩模樣片相對運動臺

◆轉(zhuǎn)動臺

◆樣片調(diào)平機構(gòu),自動完成

◆樣片調(diào)焦機構(gòu)，自動調(diào)

◆承片臺4個（2英寸、3英寸、4英寸、6英寸）

◆掩模夾4個（3英寸、4英寸、5英寸、7英寸）

◆基片抽拉式上下機構(gòu)

（3）對準顯微鏡

◆光源（配備品2只）、電源

◆雙目雙視場對準顯微鏡主體

◆目鏡3對（10倍、16倍、20倍，共6個）

◆物鏡3對（4倍、10倍、20倍，共6個）

（4）CCD對準系統(tǒng)

◆光源（配備品3只）、電源

◆成像光學系統(tǒng)

◆數(shù)據(jù)采集卡

◆CCD

（5）電控系統(tǒng)

◆汞燈觸發(fā)電源(1000W直流汞燈)

◆單片機控制系統(tǒng)

◆控制柜桌

◆計算機系統(tǒng)及液晶顯示器(21寸寬屏)

（6）氣動系統(tǒng)

◆氣缸、電磁閥、減壓閥、氣動開關(guān)等

◆電磁閥驅(qū)動

◆氣動儀表

（7）其他附件

◆真空泵一臺（無油泵）

◆空壓機一臺（*泵）

◆管道

（8）技術(shù)資料

◆使用維修說明書

◆顯微鏡使用說明書