高壓力質(zhì)量流量控制器：
LF-NH010氣體質(zhì)量流量計主要是通過傳感器，感應(yīng)氣體的流量大小，并輸出到數(shù)據(jù)采集器。熱式氣體質(zhì)量流量控制器和質(zhì)量流量計的*就是檢測出來的實際數(shù)據(jù)，不會受到溫度和壓力的影響，實測數(shù)據(jù)用戶也無需在進行溫度和壓力補償?shù)膿Q算。
高壓力質(zhì)量流量控制器：
LF-NH010氣體質(zhì)量流量控制器由質(zhì)量流量傳感器、熱式原件、質(zhì)量流量控制器調(diào)節(jié)閥和放大電路組成，它利用流動的流體傳遞熱量改變測量毛細管溫度分布的熱傳導(dǎo)分布效應(yīng)而制成，其原理是采用毛細管傳熱前后溫度差量熱法原理測量氣體的質(zhì)量流量，將傳感器測得的流量信號進行放大，然后與設(shè)定的電壓進行比較，用所得的差值去驅(qū)動控制調(diào)節(jié)閥門，閉環(huán)控制流過通道的流量使之與設(shè)定的流量相等。
LF-NH010耐高壓氣體質(zhì)量流量控制器準確可靠的測量和控制氣體質(zhì)量流量，測量和控制精度高、零飄小，測量和控制范圍寬，測量和控制的準確度不受環(huán)境溫度和外界壓力的影響，廣泛的應(yīng)用于真空鍍膜設(shè)備、半導(dǎo)體工藝設(shè)備、化學化工實驗設(shè)備、分析儀器、冶金材料工程、能源動力等各領(lǐng)域.氣體質(zhì)量流量計主要是通過傳感器，感應(yīng)氣體的流量大小，并輸出到數(shù)據(jù)采集器。熱式氣體質(zhì)量流量控制器和質(zhì)量流量計的*就是檢測出來的實際數(shù)據(jù)，不會受到溫度和壓力的影響，實測數(shù)據(jù)用戶也無需在進行溫度和壓力補償?shù)膿Q算。
