硅微通道芯片
產(chǎn)品簡(jiǎn)介:
硅微通道芯片,是半導(dǎo)體材質(zhì)芯片,和傳統(tǒng)的IC工藝能很好的兼容,有利于多功能芯片的集成,尤其是硅基芯片可以很好的引入電學(xué)控制單元。目前,我公司是通過濕法腐蝕(酸/堿)得到的特異性芯片截面結(jié)構(gòu),其中酸法腐蝕得到的芯片結(jié)構(gòu)為U型,堿法腐蝕得到的芯片結(jié)構(gòu)為V型。同時(shí),我們?yōu)榭蛻籼峁┎煌男酒喼品?wù),以滿足不同的客戶要求。
優(yōu)點(diǎn):
1. 通道表面結(jié)構(gòu)良好;
2. 易于集成;
3. 半導(dǎo)體硅基材質(zhì)。
加工規(guī)格:
1. 酸/堿法腐蝕硅片寬深比接近2:1;
2. 通道表面粗糙度約為Ra=2um。
標(biāo)簽:   微流控 微流控芯片 微硅通道芯片