離子去膠機 型號：PR-3
離子去膠機
通過等離子體方法，對陶瓷片、硅片等襯底材料圖形上的光刻膠進行干法去除。設(shè)備為單室真空系統(tǒng)，主要由真空系統(tǒng)、氣路系統(tǒng)、電氣系統(tǒng)、射頻電源系統(tǒng)、控制系統(tǒng)、冷卻系統(tǒng)、報警系統(tǒng)等部分組成。
射頻電源采用RF500W電源控制。
氣路系統(tǒng)采用兩臺浮子流量計控制氣體進氣。
腔室結(jié)構(gòu)：臥式、純石英
真空室規(guī)格：F210´300mm
限真空：1Pa（環(huán)境濕度≤55%）
真空系統(tǒng):機械泵
大裝片直徑: F4英寸
大裝片容量：4英寸 25片/爐
去膠速率: ～500A/min
去膠不均勻性：≤±5％ (φ4吋范圍內(nèi))
操作方式:手動方式
用戶可選配全自動控制方式
通過等離子體方法，對陶瓷片、硅片等襯底材料圖形上的光刻膠進行干法去除。設(shè)備為單室真空系統(tǒng)，主要由真空系統(tǒng)、氣路系統(tǒng)、電氣系統(tǒng)、射頻電源系統(tǒng)、控制系統(tǒng)、冷卻系統(tǒng)、報警系統(tǒng)等部分組成。
射頻電源采用RF500W電源控制。
氣路系統(tǒng)采用兩臺浮子流量計控制氣體進氣。
腔室結(jié)構(gòu)：臥式、純石英
真空室規(guī)格：F210´300mm
限真空：1Pa（環(huán)境濕度≤55%）
真空系統(tǒng):機械泵
大裝片直徑: F4英寸
大裝片容量：4英寸 25片/爐
去膠速率: ～500A/min
去膠不均勻性：≤±5％ (φ4吋范圍內(nèi))
操作方式:手動方式
用戶可選配全自動控制方式
 | 產(chǎn)品名稱：電子皂膜流量計 產(chǎn)品型號：BL100 |
電子皂膜流量計 型號：BL100
應(yīng)用領(lǐng)域：適用于任何氣體或液體流量的檢測，廣泛應(yīng)用于各類實驗室氣體流量的校準(zhǔn)，包括大氣采樣器的流量校準(zhǔn)、粉塵采樣器的流量校準(zhǔn)，玻璃轉(zhuǎn)子流量計的校準(zhǔn)，以及各類色譜儀的流量測定。
產(chǎn)品描述：
BL系列電子皂膜流量計通過其內(nèi)部的電路控制單元與敏感元件相結(jié)合來測量氣體流量，其精度大大優(yōu)于用眼與手掐秒表測定氣體流量的做法，是取代手持式皂膜管加秒表的Z佳選擇。該系列電子皂膜流量計液晶顯示，具有溫度、壓力、容積的校正功能，用戶通過現(xiàn)場自我校正，可得出被測氣體的體積流量，可單次測定氣體流量，也可以對流量測定十次后取平均值。
技術(shù)參數(shù)：
Ø 測量范圍：0.1mL～100mL/min
Ø 測量精度：△Q﹤±1％。
Ø 測量方式：濕式
Ø 時間范圍：0.1～1200.0s(內(nèi)部計算精確到0.01秒)。
Ø 內(nèi)裝標(biāo)稱值為8.4V、1200mA/h的充電電池，充滿電后待機時間﹥300小時。
充電次數(shù)﹥500次。
Ø 使用環(huán)境：0～45℃；0～70%RH（無結(jié)露）
Ø 重量：約950 g
