滿足大多數(shù)需求的靈活用戶界面
高級(jí)功能是標(biāo)準(zhǔn)配置!
采用的LDMOS場(chǎng)效應(yīng)管技術(shù),可在半導(dǎo)體和工業(yè)鍍膜應(yīng)用中的動(dòng)態(tài)負(fù)載下可靠工作。
擁有廣泛的功率和頻率范圍,允許用戶在一個(gè)平臺(tái)內(nèi)滿足您的所有需求。
可在廣泛的配置(2, 13, 27,40和60MHz;100W至10kW),并配備了行業(yè)的組件和子組件,我們射頻發(fā)生器大限度地提高可靠性和產(chǎn)量。
從高穩(wěn)定射頻平臺(tái)提高過程控制
可靠性穩(wěn)健設(shè)計(jì),縮短停機(jī)時(shí)間
易于集成和控制
特征:
高穩(wěn)定射頻
?頻率調(diào)諧
?電弧管理
?脈沖
?CEX主/從
?CEX相移
?前操作面板
?射頻功率放大
射頻發(fā)生器產(chǎn)品范圍:
從毫瓦到幾十千瓦的固態(tài)
射頻管設(shè)計(jì)從1000W---200kW
頻率范圍高達(dá)350MHz
集成固態(tài)和管設(shè)計(jì)
交直流電源設(shè)計(jì)
高壓、大功率
單相和三相設(shè)計(jì)
模擬電路設(shè)計(jì)
控制電路、故障檢測(cè)、計(jì)量等。
信號(hào)調(diào)節(jié)
遙控接口
硬件設(shè)計(jì)
特定于系統(tǒng)的自定義軟件設(shè)計(jì)
機(jī)械包裝
自定義CAD/CAM設(shè)計(jì)
快速成型
應(yīng)用的設(shè)備:
PECVD設(shè)備
?PVD/磁控濺射機(jī)
?刻蝕設(shè)備
?工業(yè)鍍膜
射頻發(fā)生器的主要用戶:
65kW CW,211MHz,水冷四極管放大器,
--------布魯克海文國(guó)家實(shí)驗(yàn)室(BNL),國(guó)家同步加速器光源(NSLS)。
55kW CW,176MHz,水冷四極放大器,
-------杜克大學(xué),自由電子激光器(FEL)
4kW CW,52MHz,水冷固態(tài)放大器,
-------布魯克海文國(guó)家實(shí)驗(yàn)室(BNL),國(guó)家同步加速器光源(NSLS)
12個(gè)3.5kW CW,196MHz,水冷固態(tài)放大器
-------布魯克海文國(guó)家實(shí)驗(yàn)室BNL,相對(duì)論重離子對(duì)撞機(jī)(RHIC)
11個(gè)500W寬帶、1-30MHz、水冷、“A”級(jí)射頻放大器,
------布魯克海文國(guó)家實(shí)驗(yàn)室(BNL)相對(duì)論重離子對(duì)撞機(jī)(RHIC)
6個(gè)20kW長(zhǎng)脈沖,402MHz,風(fēng)冷四極放大器
------勞倫斯伯克利國(guó)家實(shí)驗(yàn)室(LBNL)散裂中子源(SNS)
3個(gè)80kW長(zhǎng)脈沖,2MHz,風(fēng)冷四極放大器
-----LBL(SNS)和橡樹嶺國(guó)家實(shí)驗(yàn)室(ORNL)的(SNS)
8kW CW,211MHz,水冷固態(tài)放大器
------布魯克海文國(guó)家實(shí)驗(yàn)室(BNL),國(guó)家同步加速器光源(NSLS)
2kW CW,200MHz,風(fēng)冷固態(tài)放大器-------康奈爾大學(xué)
20kW CW,27MHz,風(fēng)冷固態(tài),移動(dòng)射頻發(fā)生器-------KAI技術(shù)公司
25kW CW,18-32MHz,自動(dòng)調(diào)諧,水冷,四極射頻放大器,
------------Joint Institute for Nuclear Research(JINR),,(FlerovLab)
15kW CW,11-12MHz,自動(dòng)調(diào)諧,水冷,三極射頻放大器
-------------Joint Institute for Nuclear Research(JINR),(FlerovLab)
4個(gè)雙300W輸出,88-108MHz,用于調(diào)頻發(fā)射機(jī)-----NAVAIR Spiral 3項(xiàng)目
12kW CW,101MHz水冷三極射頻放大器---------華中科技大學(xué)
100kW CW,1.0MHz,水冷,四極射頻放大器------華中科技大學(xué)
45kW CW,7.2至10.5MHz, 水冷,三極射頻放大器--------JINR(弗萊羅夫?qū)嶒?yàn)室)
15kW CW,寬帶(35-65MHz),固態(tài),水冷射頻放大器--------印度ITER
120kW CW,48MHz,水冷,四極射頻放大器-------印度的IUAC
30kW CW,97MHz,水冷,三極管射頻放大器-----印度的IUAC
3kW CW,13.56射頻放大器和匹配網(wǎng)絡(luò)----印度IPR