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產(chǎn)品簡(jiǎn)介在線詢價(jià)

蝕刻等離子體產(chǎn)品描述：plasma etching ......

蝕刻用等離子體中大型PLC 產(chǎn)品詳情

蝕刻用等離子體

在大氣壓下，能夠進(jìn)行有機(jī)膜、無機(jī)膜的蝕刻工序。
顯示器、手機(jī)、半導(dǎo)體、玻璃、薄膜、聚合物等
目前為止，有機(jī)膜、無機(jī)膜的蝕刻工序只有在真空腔體內(nèi)才可進(jìn)行，但使用本產(chǎn)品可在大氣壓中進(jìn)行蝕刻。.
該產(chǎn)品采用特殊設(shè)計(jì)的等離子頭和放電系統(tǒng)，在大氣壓中實(shí)現(xiàn)等離子放電，可有效去除有機(jī)膜、無機(jī)膜（蝕刻、去垢），來降低生產(chǎn)時(shí)出現(xiàn)的不良率。.
[ 特殊工序用etching/ashing/discum]

特點(diǎn)

1. 在大氣壓下，進(jìn)行蝕刻、去垢、去除PR膜殘留
– 模組安裝時(shí)無需更改生產(chǎn)線，有效提升產(chǎn)能。

應(yīng)用范圍

1. 應(yīng)用范圍
– Over deposition metal etching
– A-Si / Poly-Si / PI / PR ashing
– Si / SiO2 selective etching

關(guān)鍵詞：顯示器

熱門產(chǎn)品

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