密析爾 Pura 高純氣露點變送器/在線露點儀
在很多超純氣應(yīng)用，諸如半導(dǎo)體工業(yè)中，氣體中殘余的濕氣對于過程處理的正常運(yùn)作至關(guān)重要。一直以來，對濕氣的持續(xù)追蹤測量都是個難點，需要用到復(fù)雜的濕度分析儀或者昂貴的分析技術(shù)。然而密析爾儀表目前則向市場推出了簡單的、經(jīng)濟(jì)的、相當(dāng)有效的方案，用來在線測量露點值，下限低至驚人的-120°C (相當(dāng)于不到 1 ppbV)。
Pura 變送器是基于密析爾儀表多年在阻抗露點傳感器生產(chǎn)和校驗的專業(yè)經(jīng)驗，結(jié)合標(biāo)準(zhǔn)工業(yè)化的材料和制造流程，打造出的適用于半導(dǎo)體制造行業(yè)和超純氣體應(yīng)用的低價位變送器。
Pura高純氣體露點變送器
這款小巧的變送器擁有堅固而獨立的傳感器，專門用來測量超高純氣體中的微量水分含量。
Pura使用和安裝簡單，可選兩線制、三線制和危險區(qū)域的型號，是一款*可自定義的產(chǎn)品，可以滿足各種特殊需求。
亮點
- 測量下限 -120°C 露點 (1 ppbV)
- 測量穩(wěn)定，重復(fù)性好
- 高度集成的采樣裝置
- 模擬和數(shù)字輸出
- 安裝簡便
- VCR 過程接口
- 設(shè)計緊湊小巧
- 顯示/報警單元可選
高純氣體微量露點變送器
在許多高純氣體的應(yīng)用中，如半導(dǎo)體行業(yè)，氣體的殘留水分對于工藝操作的影響是至關(guān)重要。
根據(jù)以往的經(jīng)驗，微量水分測量一直是一個難題，這需要使用復(fù)雜或昂貴的分析儀測量。現(xiàn)在，密析爾推出了一款簡單、經(jīng)濟(jì)的產(chǎn)品，可以在線測量露點達(dá)-120°C （小于1ppb）。
Pura露點變送器的優(yōu)勢在于密析爾阻抗傳感器生產(chǎn)和校準(zhǔn)的經(jīng)驗和專長。工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)材料和制造工藝結(jié)合的低成本變送器，適用于大規(guī)模集成半導(dǎo)體制造廠或高純氣體管線中。
使用簡單
這種獨立的變送器設(shè)計成可無縫接入純氣的過程應(yīng)用中，并可提供可靠的測量結(jié)果。
Pura的傳感器外殼是由冷拉不銹鋼制成，內(nèi)部采用0.25Ra μm，以達(dá)到小的吸濕性，潔凈度達(dá)到清潔室標(biāo)準(zhǔn)。
該變送器交付完整的校準(zhǔn)和操作，并提供4-20mA的校準(zhǔn)輸出，能夠連接到密析爾的顯示模塊或*控制系統(tǒng)。
該產(chǎn)品的設(shè)計具有小的內(nèi)部結(jié)構(gòu)。這確保了過程應(yīng)用中kuai的響應(yīng)速度，也保證了濕度測量時的kuai響應(yīng)速度。傳感器密封墊圈可以在小壓力10-9torr內(nèi)工作，同時整個系統(tǒng)可承受的da壓力為240 Barg (3480 psi)。
安裝和操作簡便
Pura安裝簡單。¼”外螺紋VCR氣體接口的間距為 120mm，符合標(biāo)準(zhǔn)。整個產(chǎn)品的高度僅為150mm，重量小于500g。Pura是一個兩線或三線制的變送器，提供da的操作靈活性和12-28V直流電源的供電。
可選的顯示
假如應(yīng)用中需要顯示露點值或濕度值，Pura可以提供兩種顯示。顯示器可以很容易連接，也可以作為Pura的電源。
服務(wù)與校準(zhǔn)
密析爾為想要少停機(jī)時間和設(shè)備可追溯性的用戶提供以下兩種服務(wù)：
傳感器替換 –用戶可以簽訂一個有保障的合同，可以更換傳感器。當(dāng)傳感器出現(xiàn)問題時，可以把更換下來的傳感器返回密析爾檢測，從而實現(xiàn)零停機(jī)時間。
校準(zhǔn) – 用戶將傳感器返回密析爾，密析爾會對返回的傳感器進(jìn)行檢查和校準(zhǔn)。這樣為過程中的傳感器就可以實現(xiàn)可追溯性。
陶瓷阻抗傳感器
Pura采用阻抗技術(shù)，是基于水分子的導(dǎo)電性。密析爾的陶瓷濕度傳感器采用具有的厚薄膜技術(shù)。
在半導(dǎo)體化的陶瓷基底上，均勻的敷涂了金屬導(dǎo)電層。導(dǎo)電層之間的感濕層能感受到氣體樣品中的水蒸氣分壓。水氣分壓決定了水分子進(jìn)入感濕層的水分子的數(shù)量，即對應(yīng)于導(dǎo)電層之間的阻抗值。露點值和水氣分壓有一一對應(yīng)關(guān)系。經(jīng)過校驗，阻抗值和露點值的對應(yīng)關(guān)系建立起來，被儲存在變送器的芯片中。
傳感器采用半導(dǎo)體極的陶瓷材料作為基底，給予傳感器*的結(jié)構(gòu)強(qiáng)度和均勻特性。使密析爾濕度傳感器具備其他氧化鋁傳感器所*的穩(wěn)定性。
技術(shù)指標(biāo) | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
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