Park NX10原子力顯微鏡產(chǎn)品特點(diǎn)：
準(zhǔn)確成像, 無(wú)交叉耦合現(xiàn)象
XYZ軸線性度，樣品和探針?lè)謩e由獨(dú)立的柔性制導(dǎo)掃描器控制移動(dòng)
Z低的平面偏移度，全程水平掃描時(shí)平面偏移量不超過(guò)1納米
垂直掃描器全程伸縮時(shí)，線性度優(yōu)于0.015%
優(yōu)化的水平掃描器ringing現(xiàn)象, 科學(xué)的正向sine-scan算法
Park NX10原子力顯微鏡配置：
XY掃描器：
- 閉環(huán)控制式單模塊柔性XY掃描器。
- 掃描范圍: 50 μm × 50 μm (可選 100 μm × 100 μm)
- 分辨率: 0.05 nm
- 定位檢測(cè)噪音: < 0.3 nm (帶寬: 1 kHz)
- 水平線性: < ２nm (over 40 μm scan)
Z掃描器：
- 柔性引導(dǎo)高力度掃描器
- 掃描范圍: 15 μm (可選 30 μm)
- 分辨率: 0.015 nm
- 定位檢測(cè)噪音: 0.03 nm (帶寬: 1 kHz)
- 共振頻率: > 9 kHz (typically 10.5 kHz)
- 表面成像噪音: < 0.03 nm (0.02 nm typical)
光學(xué)系統(tǒng)：
- 可觀察樣品和探針的直視同軸光學(xué)系統(tǒng)
- 視場(chǎng): 480 × 360 μm (10× objective lens)
- CCD: 1M像素（像素分辨率: 0.4 μm）
物鏡：
- 10x (0.21 NA) 超長(zhǎng)工作范圍的鏡頭(1 μm分辨率)
- 20x (0.42 NA) 高分辨率長(zhǎng)工作范圍的鏡頭(0.6 μm 分辨率)
信號(hào)處理：
- ADC: 18個(gè)通道
- 4 個(gè)高速 ADC 通道 (50 MSPS)
- X,Y和Z掃描器定位傳感器的24-bit ADCs
- DAC: 12 信道
- 2個(gè)高速 DAC 通道 (50 MSPS)
- X,Y和Z掃描器定位的20-bit DACs
- 大數(shù)據(jù)大小: 4096 x 4096 像素
集成功能：
- 3個(gè)通道數(shù)字鎖相放大器
- 熱噪聲法標(biāo)定彈性系數(shù)
- 數(shù)碼Q控制
外部信號(hào)介入：
- 20個(gè)嵌入式信號(hào)輸入/輸出端口
- 5個(gè)TTL輸出: EOF, EOL, EOP, Modulation和AC bias
