超长耐用 轻便简洁 操作简单 放心选择
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不受温度压力的影响如何控制？
阀门配件 /卡套转焊接弯通
莱峰科技
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特点
? *零点稳定性，每年变动小于满量程的 0.2%
? 能够根据命令变化迅速进行流量响应并且过冲/下冲可忽略不计
? 流量范围宽 - 从3 sccm 一直到3000 slm
? 耐高压等级 - 高达 10MPA
? 可拆卸式流量传感器
? 不受安装角度影响
? 能和其他质量流量控制器在机械和电气设计方面兼容
? 电驱动阀超调
? 耐化学腐蚀阀门
☆耐压高及适用于真空条件下工作。低压降。工作压力范围宽，气体流量不因温度、压力的变化而变化。
耐用
耐腐
☆主体采用不锈钢（304或316L）结构，气密材料采用VITON、聚四氟乙烯等。适用于各种耐腐蚀性气体。
☆具有精度高、重复性好、响应速度快、软启动、工作稳定可靠。
稳定
精确计量
安装便捷
☆可任意位置安装。电气操作控制显示，使用方便。易于与电气系统或自动控制系统配合。
☆配合流量积算仪，可对气体的瞬时流量和累积流量进行精确计量。
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环保
半岛体
微电子工艺设备
医药
科研院所
精密浓度传感器工艺
特种材料学科
化学化工
食品保鲜
用于对气体质量流量进行精密测量和控制，具有精度高，稳定性好，可靠性高，安装简单，操作方便。广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业。
| 编号 | 项目 | LF420-SC | LF420-SM |
| 1 | 流量规格 | （5,10,30,50,100,200,300,500）mL/min | |
| 2 | 阀门类型 | 电磁调节阀 | |
| 3 | 阀门状态 | 常闭 | |
| 4 | 准确度 | ±1.0%F.S(≤30SLM) ±1.5%F.S(＞30SLM) | |
| 5 | 线性 | ±0.5%F.S | |
| 6 | 重复精度 | ±0.2%F.S | |
| 7 | 响应时间 | ≤2秒 | |
| 8 | 工作压差 | （50～500）kPa; （100～300）kPa(10～10L/min) | |
| 9 | 耐压 | 3MPa; 10MPa | |
| 10 | 环境温度 | （5～45）℃，可选（-20～80）℃ | |
| 11 | 材料 | 不锈钢304或316L | |
| 12 | 密封材料 | Viton®， EPDM， 金属密封或其他由用户 | |
| 13 | 漏率 | 1×10-7Pa.m3/s | 1×10-9Pa.m3/s |
| 14 | 接头 | Φ6mm～Φ10mm, 1/8”…3/4”。或其他 | |
| 15 | 模拟信号 | （0…5）V （4…20mA） | |
| 16 | 数字信号 | RS232/485 Modbus-RTU协议 | |
| 17 | 供电电源 | +15…24VD或±15VDC | |
机械连接
故障判断和处理一览表
| 序号 | 故障现象 | 可能原因 | 检查及处理方法 |
| 1 | 无气流流过输出电压0V | 1.1 阀控开关关闭 | 确认阀控开关，在“阀控”或“清洗”位 |
| 1.2 无设定信号 | 检查“内外”开关的状态，设定电位器。测量设定电压。 | ||
| 1.3 气路不通或气压差小 | 检查气源压力、气路通畅、有无泄漏。 | ||
| 1.4 过滤器堵塞 | 更换过滤器 | ||
| 1.5 控制器内部故障 | 检查是否有阀电压，无阀电压，修理电路板，有阀电压，换阀。 | ||
| 1.6 内部通道故障 | 检查通道 | ||
| 2 | 无气流，输出电压不为零 | 2.1 零点偏差 | 断开外调零，调整调零电位器 |
| 2.2 电源供电故障 | 测量控制器插头处±电源对零电压值， | ||
| 2.3 线路故障 | 检查线路有无开路，短连及错误。 | ||
| 2.4 控制器内电路故障 | 更换线路板或传感器 | ||
| 3 | 有气流，能控制，无流量输出电压 | 3.1 流量信号线路不通 | 检查接线，测量流量信号对零电压。 |
| 3.2 显示仪故障 | 测量显示仪插头处流量信号对 零电压。如有电压，则显示仪故障。 | ||
| 3.3 控制器内电路故障 | 测量控制器插头处流量信号对零电压。如无电压，则控制器内电路故障。 | ||
| 4 | 有气流，有显示，不能控制 | 4.1 地电平不正常 | 检查所有地线是否正确连接，有无开路。 |
| 4.2 设定信号不能调节 | 测量设定信号能否调节，是否接线错误或故障。 | ||
| 4.3 零点严重偏差 | 断开外调零，关闭调零 | ||
| 4.4 强电磁干扰 | 在无干扰环境测试应正常。改善电磁干扰。 | ||
| 4.5 控制器电路故障 | 更换电路板 | ||
| 5 | 阀有较大漏 气 | 5.1 零点偏差 | 断开外调零，调整调零电位器为零或略微正偏。 |
| 5.2 设定电压不能到零 | 测量设定电压是否到零。可能设定电位器损坏。 | ||
| 5.3 关闭信号故障 | 分别打“阀控”和“关闭”，测量其电压是否正常。 | ||
| 5.4 出入口气压差太大 | 减小气压差 | ||
| 5.5 阀门污染 | 清洗阀门，更换密封件 | ||
| 5.6 控制器内部故障 | 更换电路板或修整电磁阀 | ||
| 6 | 气流控制不稳定 | 6.1 气源压力不稳 | 稳定气源压力，出入口压差在规定之内。 |
| 6.2 气路内阻过大 | 畅通管道，大流量要加粗管道，提高气源供气能力。 | ||
| 6.3 设定信号不稳 | 用示波器测量设定信号的稳定性，并测量±电源对零电压值和稳定性。 | ||
| 6.4 外调零信号不稳 | 断开外调零信号 | ||
| 6.5 控制器内故障 | 更换线路板，清洗通道，维修电磁阀 | ||
| 7 | 有气流，无显示。不能调控制 | 7.1 传感器故障 | 7.1 传感器故障修理传感器及线路，清洗传感器通道。 |
| 8 | 高频干扰流量控制 | 8.1 供电系统地线、零线连接或机壳接地有问题 | 检查接地或绝缘隔离，接地系统注意一点接地。 |
| 8.2 信号电平连接点问题 | 检查信号及零电平连接线点，杜绝线路干扰串入。 | ||
| 8.3 空间电磁场干扰 | 远离干扰源及屏蔽隔离. | ||
| 9 | 流量控制不正常 | 9.1 零点偏差 | 断开外调零，调整调零电位器 |
| 9.2 电源供电故障 | 测量控制器插头处±电源对零电压值， | ||
| 9.3 气路或气压差不正常 | 检查气源压力及压差，气路有无堵塞、污染，有无泄漏。 | ||
| 9.4 设定信号不正常 | 测量设定信号电压值。 | ||
| 9.5 控制器内部故障 | 更换传感器，电路 | ||
| 10 | 实际气流值与显示值偏差过大 | 10.1 控制器与显示量程或单位不匹配 | 匹配控制器与显示仪。显示仪设定和显示电压范围是否为（0…5）V或（4…20mA） |
| 10.2 零点偏差 | 调整调零电位器 | ||
| 10.3 气源或气压差 不正常 | 检查气源压力，出入口气压差。 | ||
| 10.4 控制器污染 | 清洗传感器通道 | ||
| 11 | 无气流，零点不稳或慢漂移 | 11.1 外调零信号不稳 | 断开外调零 |
| 11.2 控制器内部故障 | 维修或更换传感器及电路 |
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