- 50-100毫秒控制響應（消除上游壓力波動造成的影響）
- 允許用戶自行調節(jié)PID以獲得的速度和穩(wěn)定性
- 定制化閥門孔徑以保證滿量程流量的穩(wěn)定性
- PC3系列設有遠程壓力傳感端口，從而允許壓力控制器靈活安置
- 可設置成控制背壓
- 標準精度 (NIST可溯源): +/- 0.25% F.S
- 高精度 (選配): +/- 0.125% F.S
- 線性范圍: 0.5-* F.S, 量程可調比 200:1
- 標準壓力控制器響應時間常數(shù): 50 毫秒
- 大流量壓力控制器響應時間常數(shù): 100 毫秒 (PCR/PCR3/PCRS系列)
- *壓力穩(wěn)定時間也取決于實際應用中的設置
- 表壓 (相對于大氣壓): 0-2 inH2O(G) 至 0-500 psig (PC)或0-300 psig (PCR), 負壓: -15 – 0 psig。*PCS/PCRS小滿量程: 0-1 psig
- 絕壓 (相對于真空): 0-15 psia 至 0-500 psia (PC)或0-300 psia (PCR)。*PCS/PCRS小滿量程: 0-30 psia.
- 差壓 (相對壓力): 0-2 inH2O(D) 至 0-150 psid (PC/PCR)。*PCS/PCRS滿量程范圍: 0-1 psid 至 0-100 psid, 負壓代表反向壓差
- 標準通訊方式: RS-232數(shù)字通訊和0-5v模擬通訊
- 選配模擬通訊: 1-5v, 0-10v, 4-20 mA; 第二道模擬輸出信號可選
- 配通訊協(xié)議: RS-485, Modbus RTU (基于RS-232或RS-485), PROFIBUS
- 通訊接口: 8針mini-DIN
- 選配通訊接口: 9針或15針D-sub接口, 可定制引腳分配
- 動態(tài)顯示設定值、表壓、絕壓或差壓
- 標準顯示屏: 2.1″ 單色LCD數(shù)字式觸摸顯示屏
- 選配顯示屏: 2.1″ 背光彩色TFT數(shù)字式觸摸顯示屏
- 有條件的終身質保
- 對撞擊、潮濕環(huán)境、安裝方向等不敏感
- 壓力控制器 (電源需另行訂購)
- NIST可溯源校準證書
- 艾里卡特操作手冊
壓力控制器用于真空鍍膜
結合您用得順手的真空計與艾里卡特PC-EXTSEN壓力控制器，可打造的絕壓控制方案用于真空沉積。質量流量控制器控制進入腔體的反應氣體流量、PC-EXTSEN壓力控制器穩(wěn)定整個腔體壓力。
