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超高分辨肖特基場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡 SU7000

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  • 型號(hào)
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  • 更新時(shí)間2021-01-05
  • 廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
  • 入駐年限1
  • 實(shí)名認(rèn)證已認(rèn)證
  • 產(chǎn)品數(shù)量175
  • 人氣值15028
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點(diǎn)擊展示更多內(nèi)容
SU7000不僅可以在低加速電壓下獲得高畫質(zhì)圖像,而且還可以同時(shí)接收多種信號(hào)。此外,它還具備大視野觀察、In-Situ觀察等FE-SEM的眾多性能。SU7000是一臺(tái)實(shí)現(xiàn)了信息獲取量大化的新型掃描電鏡,可以滿足客戶的多種觀察需求。接下來請(qǐng)欣賞SU7000帶來的多*。*左圖為包含選配項(xiàng)的SU7000示意圖
超高分辨肖特基場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡 SU7000 產(chǎn)品詳情

超高分辨肖特基場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡 SU7000

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超高分辨肖特基場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡 SU7000

SU7000不僅可以在低加速電壓下獲得高畫質(zhì)圖像,而且還可以同時(shí)接收多種信號(hào)。此外,它還具備大視野觀察、In-Situ觀察等FE-SEM的眾多性能。

SU7000是一臺(tái)實(shí)現(xiàn)了信息獲取量大化的新型掃描電鏡,可以滿足客戶的多種觀察需求。

接下來請(qǐng)欣賞SU7000帶來的多*。

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左圖為包含選配項(xiàng)的SU7000示意圖

  • 特點(diǎn)

  • 規(guī)格

  • 安裝布局

特點(diǎn)

核心理念

  1. 采用優(yōu)異的成像技術(shù)
    SU7000可以迅速獲取從大視野全貌圖到表面微細(xì)結(jié)構(gòu)等多種檢測(cè)信號(hào)。全新設(shè)計(jì)的電子光學(xué)系統(tǒng)和檢測(cè)系統(tǒng),使得裝置可以同時(shí)接收二次電子和背散射電子等信號(hào),用戶可以在短時(shí)間內(nèi)獲得更全面的樣品信息。
  2. 采用多通道成像技術(shù)
    隨著用戶對(duì)成像需求的不斷增長,SU7000特新增了幾種探測(cè)器,還引進(jìn)了相應(yīng)的成像功能。SU7000多可同時(shí)顯示和保存6通道信號(hào)。實(shí)現(xiàn)了獲得樣品信息的大化。
  3. 支持不同形狀樣品、多種觀察方法
    ?大型樣品觀察
    ?低真空觀察
    ?超低溫觀察
    ?實(shí)時(shí)觀察
    等所需的樣品倉和真空系統(tǒng)都十分完備,觀察方法也是。
  4. 支持微納解析
    采用肖特基發(fā)射電子槍,大束流可達(dá)到200 nA,適用于各種微納解析。樣品倉形狀和接口設(shè)置支持EDX分析、EBSD、陰極熒光分析等,接口設(shè)備可通過選配附件滿足各種特殊需求。

成像能力

追求信息大化的檢測(cè)系統(tǒng)

隨著用戶對(duì)樣品數(shù)據(jù)的需求更加多元化,對(duì)檢測(cè)系統(tǒng)在短時(shí)間內(nèi)捕捉更多的信息提出了更高的要求。SU7000的檢測(cè)系統(tǒng)可以在不改變WD等條件的前提下,更高效地獲取形貌、成分、晶體學(xué)以及發(fā)光等信息。真正實(shí)現(xiàn)了更快速、更全面的信息收集。

同一條件觀察

樣品:包裹有機(jī)物的金屬棒

樣品提供:Vassar College, Chemistry Dept.
Mr. Smart and Ms. Pineda

通過UD、MD、LD探測(cè)器同時(shí)采集信號(hào)的應(yīng)用實(shí)例 (加速電壓:1 kV)
通過UD、MD、LD探測(cè)器可以同時(shí)采集信號(hào),UD可獲取表面微細(xì)形狀信息,MD可獲取表面有機(jī)物包覆狀態(tài)信息,LD可獲取整體凹凸形貌信息。在同一個(gè)條件下,實(shí)現(xiàn)了獲取信息的大化。

采用可多通道顯示的GUI設(shè)計(jì)

優(yōu)化信號(hào)顯示功能

    成像單元在信號(hào)顯示上也作了全新升級(jí)。
  • 用戶可根據(jù)觀察需求,選擇不同的視場(chǎng)角和通道數(shù)。
  • 單屏多可同時(shí)顯示4通道信號(hào)。
  • 導(dǎo)航功能(SEM MAP)可以輕松捕捉到顯示樣品倉內(nèi)信息的CCD相機(jī)圖像和相機(jī)拍攝到的樣品圖像,快速顯示目標(biāo)圖像。
  • 使用雙屏顯示時(shí),可在一個(gè)顯示屏上雙通道顯示1,280×960像素的圖像,另一個(gè)顯示屏專門用來顯示信號(hào),多可同時(shí)顯示6通道信號(hào)。

高自由度的界面布局

使用單屏?xí)r,可以單通道、雙通道、四通道顯示樣品信息,也可以顯示CCD相機(jī)圖像、樣品臺(tái)圖像/SEM MAP圖像等。而且操作畫面上的工具欄可以任意移動(dòng)、添加和刪除。

支持雙屏顯示

1st顯示屏專門用來顯示圖像,2nd顯示屏用來顯示操作面板畫面。上圖左圖(1st顯示屏)是通過SU7000觀察到的鋼鐵中非金屬夾雜物的圖片。圖中清晰呈現(xiàn)出UD、LD、UVD、MD、PD-BSED5個(gè)探測(cè)器捕捉到的圖像以及SEM MAP圖。右圖(2nd顯示屏)將操作面板菜單和圖像歷史記錄窗口在同一個(gè)畫面中顯示,界面布局清晰明了。在實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)監(jiān)控圖像的同時(shí),操作性能也得到了進(jìn)一步提升。

可擴(kuò)展觀察和分析方法

樣品倉和馬達(dá)臺(tái)


樣品倉外觀
標(biāo)配18個(gè)附件接口


馬達(dá)臺(tái)外觀
XY軸可移動(dòng)距離為135×100 mm

樣品倉可搭載大直徑為φ 200 mm;80 mm的樣品。大開倉設(shè)計(jì),標(biāo)配18個(gè)附件接口。樣品臺(tái)可搭載XY軸大移動(dòng)距離為135×100 mm,重2 kg的樣品。搭載大型樣品和功能樣品臺(tái)*不成問題。

相機(jī)導(dǎo)航功能(*)

通過相機(jī)拍攝樣品

      將相機(jī)拍攝到的圖像顯示到SEM MAP畫面上進(jìn)行導(dǎo)航

SU7000可選配導(dǎo)航相機(jī)(*),迅速鎖定要觀察的位置。相機(jī)安裝在樣品倉內(nèi),插入樣品后,可半自動(dòng)拍攝樣品的整體圖像。該圖像會(huì)被顯示到導(dǎo)航畫面(SEM MAP)窗口,因此,用戶可以觀察窗口中的圖像判斷位置。大適用尺寸為φ 100 mm。

(*)
可選配相機(jī)。

支持動(dòng)態(tài)觀察的檢測(cè)系統(tǒng)

SU7000可用于環(huán)境改變的動(dòng)態(tài)觀察。低真空觀察時(shí),可以選用PD-BSED(背散射電子探測(cè)器)、UVD、MD等各種探測(cè)器(**)。

低真空環(huán)境的探測(cè)器選擇
左圖為通過MD(背散射電子),右圖為通過UVD(二次電子)探測(cè)器觀察到的金屬氧化物纖維的情況。兩張圖分別清晰地呈現(xiàn)出氧化物的分散狀態(tài)和纖維的堆積情況。

PD-BSED:響應(yīng)速度提高
左圖是以一般的響應(yīng)速度,約每兩秒掃描一次得到的圖像;右圖抑制了圖像的漂移,使得整體的畫質(zhì)得到了大幅提升。隨著響應(yīng)速度的提高,更適用于In-Situ觀察。

(**)
可選配PD-BSED、UVD。

規(guī)格

項(xiàng)目內(nèi)容
圖像分辨率二次電子分辨率0.8 nm/15 kV
0.9 nm/1 kV
放大倍率20~2,000,000 x
電子槍發(fā)射體ZrO/W熱場(chǎng)發(fā)射(肖特基熱場(chǎng)發(fā)射)
加速電壓0.1~30 kV (步進(jìn):0.01 kV)
束流大200 nA
探測(cè)器標(biāo)準(zhǔn)探測(cè)器UD (上探測(cè)器)
MD (中探測(cè)器)
LD (下探測(cè)器)
選配探測(cè)器*1PD-BSED (半導(dǎo)體式背散射電子探測(cè)器)
UVD(高靈敏度低真空探測(cè)器 )
低真空模式*1樣品倉壓力范圍5~300 Pa
可使用探測(cè)器PD-BSED, UVD, UD, MD, LD
馬達(dá)臺(tái)馬達(dá)臺(tái)控制5軸馬達(dá)驅(qū)動(dòng)
移動(dòng)范圍X0~135 mm
Y0~100 mm
Z(WD)1.5~40 mm
T(傾斜角)-5~70°
R(旋轉(zhuǎn)角)360°
樣品尺寸大直徑:φ200 mm, 大高度:80 mm
顯示器*123英寸LCD (1,920×1,080), 支持雙屏
圖像顯示模式全屏顯示模式1,280×960像素顯示
單屏顯示模式800×600像素顯示
雙屏顯示模式800×600像素顯示、1,280×960像素顯示 *2
四屏顯示模式640×480像素顯示
六屏顯示模式*2640×480像素顯示 *2
圖像數(shù)據(jù)保存保存圖像尺寸640×480、1,280×960、2,560×1,920、5,120×3,840、10,240×7,680
選配附件能譜儀(EDX)
X射線波譜儀(WDX)
電子背散射衍射(EBSD)
陰極熒光探測(cè)器(CL)
冷凍傳輸系統(tǒng)
各種功能樣品臺(tái)
*1
為選配項(xiàng)。
*2
支持雙屏顯示。

安裝布局

關(guān)聯(lián)產(chǎn)品分類

  • 聚焦離子束系統(tǒng) (FIB/FIB-SEM)
  • TEM/SEM樣品前處理裝置
熱門產(chǎn)品
產(chǎn)品名稱參考價(jià)地區(qū)公司名稱更新時(shí)間 
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