堅膜固化無塵烘箱 300度潔凈烘箱 無氧烘箱 智能烘箱過程管理系統(tǒng)由上海旦順實(shí)業(yè)有限公司自主研發(fā),基于TCP/ip協(xié)議,與工廠系統(tǒng)對接,實(shí)現(xiàn)自動化烘烤,過程管理。控制方便、操作簡單、靈活性大。高精度控制、智能化操作、人性化的構(gòu)造,大大提高生產(chǎn)效力! 無塵烘箱主要應(yīng)用于半導(dǎo)體晶圓片光刻涂膠鍍膜前的基片清洗后的前烘烤(Pre baking)、涂膠后的軟烘焙Soft baking),曝光、顯影后的堅膜硬烘(Hard baking)等工藝,適用半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料的潔凈、防氧化烘烤,亦可用于LCD、TFT、COMS、生物、醫(yī)藥、光學(xué)鍍膜、精密元件干燥等生產(chǎn)工藝以及研發(fā)機(jī)構(gòu)。 烘箱主要參數(shù)介紹: 溫度范圍:室溫+20℃~300/400/500/600℃ 規(guī)格尺寸:
均勻度:±1.5% 潔凈等級:Class10 Class100(潔凈度要求可根據(jù)客戶需求配置) 含氧量:<=20PPM 50PPM 100PPM 200PPM 1000PPM (含氧量要求可根據(jù)客戶需求配置) 升溫速度:常溫~+600℃,升溫速率:0~7℃/min,升溫斜率程序可控 降溫速度:降溫斜率程序可控 控制系統(tǒng):PCL+PC工控電腦。 公司名稱:上海旦順實(shí)業(yè)有限公司 業(yè)務(wù)經(jīng)理:蔣鑫 |
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