標稱尺寸外徑5mm的微型表壓力傳感器CYG505及其衍生的螺紋安裝型品種CYG506是專為水流動力學研究?？s模實驗要求的外形尺寸小，對流場擾動小，量程低、靈敏度高，動態(tài)頻響好而專門設計的微型低量程脈動壓力傳感器。
CYG505的壓力敏感元件采用*的MEMS（Miro Electronic Machinical Systems）技術設計與制造、三維集成、雙面加工的硅壓阻壓力敏感元件具有優(yōu)秀的線性精度、離子注入、精細光刻技術制作的惠斯頓應變電橋的高度一致性使其具有很小的溫度漂移。用CAD輔助的有限元分析基礎上的力學構件設計、版圖布局設計、加上精密的各向異性腐蝕，解決了低量程下線性度和輸出靈敏度的矛盾。小至2mm徑向尺度的微型芯片，具有低達20kpa的量程和優(yōu)秀的線性度，滿足了水工縮模測量的精度與靈敏度要求。
CYG505采用了敏感元件背面承壓的工作模式，因此它可以用于導電性的水及其它液體介質。有特殊腐蝕性或溶滲性的介質訂貨時請與廠家協(xié)商。
為了防止使用安裝處偶然浸水造成表壓傳感器的失效，CYG505在尾端出線處采用了PVC導管作為通氣及防水保護，微型電纜從PVC管中孔內引出。由于工藝難度，PVC管的大長度限制為7m。
CYG505為表壓模式，標準壓力量程為25、40、60、100、160、250、400、600、1000kpa。為方便水工用戶，也可以按mH2O為單位訂貨量程為2、3、5、10、20、50、100。
CYG505的設計及制作已獲得國家發(fā)明*，并獲得2007年度中國*國家發(fā)明優(yōu)秀獎，號為：ZL.8。
CYG505傳感器的低量程產(chǎn)品的固有頻率達138kHz，為激波管試驗驗證。它具有0～20kHz的使用帶寬，上升時間小于1us，滿足水工測量的動態(tài)要求。
CYG506微型螺栓安裝型傳感器是CYG505的衍生品種，它的外形尺寸見附圖。
1、性能指標參數(shù)
| 指標/檔級 | 非線性精度 ±%FS | 遲滯重復性 %FS | 零位溫度系數(shù) ×10-4FS /℃ | 靈敏度溫度系數(shù) ×10-4FS /℃ | 零位時漂 ＜mv/8h |
| JA | 0.5 | 0.1 | 5 | 5 | 0.2 |
| JB | 0.2 | 0.1 | 2 | 2 | 0.1 |
2、滿量程輸出： 小值20mv 典型值60mv 大值100mv
3、輸入輸出阻抗：小值3 kΩ 典型值5 kΩ 大值7 kΩ
4、輸入工作電流：1.5mA（恒流源）
5、工作溫度范圍：-20℃～+80℃（可應要求擴寬）
6、補償溫度范圍：0℃～+50℃（可應要求擴寬）
7、過載能力： 額定量程的200%(大至1.2Mpa)
8、加速度靈敏度：＜0.002%FS/g
9、外形尺寸圖：
注：CYG505系列產(chǎn)品的標準產(chǎn)品引出微型電纜長度為5m，超過5m長度收費，但防水保護的PVC管長只能套7m。
