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1200℃預加熱滑動雙溫區(qū)/多溫區(qū)PECVD系統(tǒng)

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  • 型號
  • 品牌
  • 所在地
  • 更新時間2020-11-28
  • 廠商性質生產廠家
  • 入駐年限1
  • 實名認證已認證
  • 產品數量75
  • 人氣值3438
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產品應用:PECVD系統(tǒng)是借助射頻使含有薄膜組成原子的氣體電離,在局部形成等離子體,而等離子體化學活性很強,很容易發(fā)生反應,在基片上沉積出所期望的薄膜。
1200℃預加熱滑動雙溫區(qū)/多溫區(qū)PECVD系統(tǒng) 產品詳情

   

 

產品應用:

PECVD系統(tǒng)是借助射頻使含有薄膜組成原子的氣體電離,在局部形成等離子體,而等離子體化學活性很強,很容易發(fā)生反應,在基片上沉積出所期望的薄膜。

產品組成:

PECVD系統(tǒng)配置:

1.1200度開啟式雙溫區(qū)真空管式爐

2.滑動系統(tǒng)分為手動、電動滑動,并配置管內測溫系統(tǒng)。

3.預加熱開啟式管式電爐

4.等離子射頻電源

5.多路質量流量控制系統(tǒng)

6.真空系統(tǒng)(可選配中真空或高真空)  

產品特點:

生長溫度低;沉積速率快;成膜質量好,適用范圍廣,設備簡單。

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