技術參數:
1、較優(yōu)秀標準平面(A面),工作直徑D1=φ146mm,平面的面形偏差小于0.03μm(λ/20)
2、第二標準平面(B面),工作直徑D2=φ140mm,平面的面形偏差小于0.03μm(λ/20)
3、準直系統(tǒng):工作直徑φ146mm,孔徑F/2.8,焦距f=400mm
4、測微目鏡:焦距f=16.7mm;
5、視場角:2W=40?;放大倍數β=15X
6、成像物鏡:D=7,F=16
7、光源規(guī)格:ZN18(He-Ne)
8、干涉室尺:φ480*380*285mm
原舊站參數地址:/cp/xq15-gijiguangpingmiangansheyi.htm