天津瑞利光電科技有限公司優(yōu)勢(shì)經(jīng)銷德國(guó)aixACCT激光干涉儀-TF系列
德國(guó)aixACCT激光干涉儀-TF系列
產(chǎn)品范圍:
德國(guó)aixACCT激光干涉儀、共振分析儀、放大器、傳感器、執(zhí)行器。
主要型號(hào):
TF 3000、TF 2000 E、TF 1000
相關(guān)產(chǎn)品介紹:
雙光束激光干涉儀
aixACCT Systems已將*的雙光束技術(shù)擴(kuò)展到可商用的雙光束激光干涉儀系統(tǒng),以進(jìn)行長(zhǎng)達(dá)8英寸的晶圓表征。
用于測(cè)量d 33的雙光束激光干涉儀(aixDBLI)提供經(jīng)過(guò)驗(yàn)證的精度(x切割石英),max可達(dá)0.2 pm / V。該系統(tǒng)的主要特點(diǎn)是單次測(cè)量的采集時(shí)間僅為幾秒鐘。基于新的數(shù)據(jù)采集算法,測(cè)量速度提高了100倍。這使得 比較了以相同激發(fā)頻率記錄的薄膜的電氣和機(jī)械數(shù)據(jù)。由于差分測(cè)量原理,消除了樣品彎曲的影響,這是使用原子力顯微鏡(AFM)進(jìn)行此類測(cè)量的主要障礙。
測(cè)量:
-機(jī)電大信號(hào)應(yīng)變和極化測(cè)量。
aixDBLI系統(tǒng)的*性能使其適用于6“晶片上的MEMS(微機(jī)電系統(tǒng))設(shè)備的壓電和電氣可靠性測(cè)試。該系統(tǒng)的 分辨率和可重復(fù)性優(yōu)于2%,可大規(guī)模生產(chǎn)。整個(gè)裝置包括位于減振室內(nèi)的光學(xué)組件,TF Analyzer 2000和一些附加的模擬電路。
技術(shù)數(shù)據(jù):
-解析度:1 pm經(jīng)過(guò)x-cut Quartz測(cè)試
-位移/應(yīng)變測(cè)量:50 Hz-5 kHz
100 mV至10 V
至25 V(可選)
-壓電d 33系數(shù):
偏壓 :(1 mHz至1 Hz)
100 mV至10 V
至25 V(可選)
小信號(hào):(1 kHz至10 kHz)
100 mV至10 V
-電致伸縮M 33:類似于d 33
天津瑞利光電科技有限公司是一家集研發(fā)、工程、銷售、技術(shù)服務(wù)于一體的現(xiàn)代化企業(yè),是國(guó)內(nèi)自動(dòng)化領(lǐng)域有競(jìng)爭(zhēng)力的設(shè)備供應(yīng)商。公司主要經(jīng)營(yíng)歐美和日韓 等國(guó)的機(jī)電一體化設(shè)備、高精度分析檢測(cè)儀器、環(huán)境與新能源工業(yè)設(shè)備及電動(dòng)工具等工控自動(dòng)化產(chǎn)品。 憑借成熟的技術(shù)與商務(wù)團(tuán)隊(duì), 公司在為客戶帶來(lái) 產(chǎn)品的同時(shí)還可提供自動(dòng)化工程技術(shù)服務(wù)及成套解決方案。
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