天津瑞利光電科技有限公司優(yōu)勢(shì)經(jīng)銷(xiāo)德國(guó)Cyber Technologies厚度測(cè)量?jī)x-CT 350T
產(chǎn)品型號(hào)：CT 350T
德國(guó)Cyber Technologies厚度測(cè)量?jī)x-CT 350T
關(guān)鍵字描述：運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)使用快速，準(zhǔn)確的磁性直線(xiàn)電機(jī)。通過(guò)以4 kHz的數(shù)據(jù)速率觸發(fā)彩色白光傳感器，可以將檢查時(shí)間更小化。
產(chǎn)品介紹：
快速準(zhǔn)確的雙面掃描系統(tǒng)
測(cè)量速度：2 kHz / 4 kHz / 20 kHz
在x和y方向上移動(dòng)300 mm（200 mm），橫向分辨率為50 nm，電動(dòng)z軸分辨率為20 nm
2D輪廓，3D地形圖和3D厚度圖
掃描范圍大
x，y，z分辨率，行程為max.300 mm（200 mm）
零件厚度max.80 mm
彩色白光傳感器
高分辨率離軸相機(jī)
CT 350T是一款非接觸式雙面光學(xué)輪廓儀，具有300毫米x，y掃描臺(tái)。頂部和底部傳感器安裝在行程為100 mm的高精度Z軸上。雙面自動(dòng)對(duì)焦功能甚至可以測(cè)量嚴(yán)重彎曲或彎曲的零件。兩個(gè)傳感器均收集與x，y編碼器信號(hào)同步的高度數(shù)據(jù)，并軸向?qū)R以確保精確的差分厚度測(cè)量。該軟件同時(shí)從頂部和底部表面生成2D輪廓和3D貼圖，并計(jì)算相應(yīng)的總厚度輪廓或貼圖。
運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)使用快速，準(zhǔn)確的磁性直線(xiàn)電機(jī)。通過(guò)以4 kHz的數(shù)據(jù)速率觸發(fā)彩色白光傳感器，可以將檢查時(shí)間更小化。通過(guò)在平臺(tái)孔上安裝轉(zhuǎn)接板，該系統(tǒng)可以用作標(biāo)準(zhǔn)光學(xué)表面輪廓儀，使CT 350T成為功能廣泛的表面和厚度測(cè)量系統(tǒng)。該系統(tǒng)也有較小的版本，如CT 250T，具有200 mm的行程，非常適合8英寸晶圓或基板和太陽(yáng)能晶圓。
參數(shù)：
集成系統(tǒng)控制器：包括運(yùn)動(dòng)控制，傳感器控制器（4 kHz），電源，工作站的USB接口
工作站電腦：查詢(xún)當(dāng)前規(guī)格，22英寸寬屏顯示器
連接方式：以太網(wǎng)，DVD驅(qū)動(dòng)器，USB（正面和背面），并行端口，鍵盤(pán)，鼠標(biāo)，DVI和模擬視頻輸出
電源要求：100-240 V AC，50-60 Hz，2.0 A（240 V），5 A（100 V）
測(cè)量表面尺寸：300 x 300 [mm]（12 x 12 [in]）
線(xiàn)性編碼器分辨率
X，Y：50 nm（2μin）
Z：5 nm（0.2 µin）
橫向分辨率：1微米（載物臺(tái)分辨率：50 nm）
X和Y的行程限制（電動(dòng)）：350 x 300 [mm]（13.8 x 12 [in]）
Z行程限制（電動(dòng)）：100 mm (4 in)
平臺(tái)上的負(fù)載：max.10 kg
可用的傳感器：共焦白光傳感器
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