Setra西特227系列純氣體壓力傳感器
Setra 227 型壓力變送器專為高密度的模塊式“Block”氣體棒和面板設計，能夠滿足如今300 mm 工具的要求。該型號占用空間僅11/8″，能節(jié)省寶貴的空間；結構堅固，是要求*穩(wěn)定性、高精度和適合在惡劣環(huán)境使用的壓力測量的理想選擇。
Setra西特227系列純氣體壓力傳感器Setra西特227系列純氣體壓力傳感器
Setra 227 型壓力變送器專為高密度的模塊式“Block”氣體棒和面板設計，能夠滿足如今300 mm 工具的要求。該型號占用空間僅11/8″，能節(jié)省寶貴的空間；結構堅固，是要求*穩(wěn)定性、高精度和適合在惡劣環(huán)境使用的壓力測量的理想選擇。與其他采用大體積封頭腔室的產(chǎn)品不同，Setra 227 型壓力變送器采用了易于吹掃的小型傳感器腔室設計。所有接液部件均采用VIM/VAR 316L 不銹鋼制造，且表面鈍化拋光至5 Ra（大7 Ra），確保表面平整且耐化學腐蝕，實現(xiàn)無污染氣體輸送。
■ 泄露率低
■ VCR 接頭
■ 易于吹掃的小腔室
■ 200PSI/250PSI/3000PSI
特性
·316 L VIM/VAR 不銹鋼
·表面拋光度7 Ra
·VCR 接頭
·1×10-9 ATM.CC/sec 級別的氨滲漏實驗
·抗電磁干擾/ 射頻干擾，可防止誤停機
·4-20mA 輸出型獲得不易燃認證，適用于潛在危險區(qū)域
·符合CE 標準要求
·符合RoHS 標準要求
應用
·11/8″“Block”氣體棒和面板
·高純度氣體輸送系統(tǒng)
·半導體過程工具
性能參數(shù) | 物理參數(shù) | |||
精度RSS1（恒溫下） | ±0.25%FS或±1.0%讀數(shù) | 殼體 | 不銹鋼 | |
非線性(加擬合直線) | ±0.15%FS | 電氣連接 | 6英尺多芯電纜、卡口或9針/15針D-SUB接頭 | |
遲滯 | 0.20%FS | |||
非重復性 | 0.02%FS | 壓力接口 | 朝下安裝的C型或W型密封 | |
溫度影響2 | 通氣 | 零點/量程調整裝置的檢修孔 | ||
溫度補償范圍 | -9～65℃ | 重量 | 約184g | |
零點/滿程漂移 | 1.8%(%FS/100℃) |
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| |
電氣參數(shù)(電流) | 電氣參數(shù)(電壓型) | |||
電路 | 2線 | 電壓 | 3線(COM,OUT,EXC) | |
輸出6 | 4～20mA7 | 輸出4 | 0～5VDC或0.2～5.2VDC5 0～10VDC或0.2～10.2VDC5 | |
外部負載 | 0-800Ω | |||
小供電電壓(VDC) | 10+0.02x(接收器附加導線電阻) | 激勵 | 5V FSO(滿量程輸出)時為10～30VDC 10V FSO(滿量程輸出)時為13～30VDC | |
大供電電壓(VDC) | 30+0.004x(接收器附加掉線電阻) | |||
環(huán)境參數(shù) | 電流消耗 | ﹤8mA | ||
工作溫度3 | -40℃～+85℃ | 壓力介質 | ||
存放溫度 | -40℃～+85℃ | 與316不銹鋼兼容的氣體或液體 | ||
電流輸出型(訂購N1選項時)工作/儲存溫度 | -30℃～+80℃ | 1.非線性、遲滯、非重復性的方和根 2.產(chǎn)品在21℃進行標定,大溫度影響誤差由此數(shù)據(jù)得來 3.電子元件的工作溫度限制,壓力介質的溫度可能明顯較高或較低 4.采用50KΩ負載進行標定,可在負載≥5KΩ時工作 5.零點(滿量程)輸出;對于5VDC輸出,出廠設置在±25mV以內對于10VDC輸出,出廠設置在±50mV以內 6.出廠標定時采用250Ω負載,24VDC電源 7.零點(滿量程)輸出：出廠設置在±0.8BmA以內 | ||
認證 | ||||
不易燃認證;適用于潛在危險區(qū)域的認證; | ||||
北美;可選ETL認證,適用于ANSI/SA-12.2.01-2011標準中列出的1類2區(qū)A、B、C、D組危險區(qū)域 | ||||
歐洲：可選用于標準EN60079-0;2012的ATEX94/9/EC2區(qū)認證或 WN60079-15:20 10 11 3G Ex nA llC T4 Gc-30℃﹤Ta﹤+80℃認證 | ||||
