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Semyos能量色散式X射線熒光光譜儀

參考價
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具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 型號
  • 品牌
  • 所在地
  • 更新時間2020-09-17
  • 廠商性質(zhì)
  • 入駐年限1
  • 產(chǎn)品數(shù)量187
  • 人氣值1836
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Semyos能量色散式X射線熒光光譜儀:Moreover, with its<23um FWHM microspot, it is able to measure in the scribelines or in dedicated metrology areas on production wafers.
Semyos能量色散式X射線熒光光譜儀 產(chǎn)品詳情
品牌PANALYTICAL/帕納科

Semyos能量色散式X射線熒光光譜儀儀器簡介:

PANalytical's Semyos energy-dispersive XRF wafer analyzer is the latest of our successful process control tools designed specifically for semiconductor and data storage metrology. This versatile instrument determines layer composition and thickness uniformity for a wide range of process films.

Moreover, with its<23um FWHM microspot, it is able to measure in the scribelines or in dedicated metrology areas on production wafers.

The Semos wafer analyzer is an advanced metrology tool that addresses the Semyos能量色散式X射線熒光光譜儀following industry demands:
* On-product thin film metrology
* In-line process control
* Simultaneous determination of film thinkness and composition
* Ability to characterize single films and multi-layer stacks
* Excellent repeatability and reproducibility (Gauge R&R)
* Minimal COO through excellent uptime, high throughput and minimum consumption of utilities


主要特點:

Semyos: Addressing the needs of the semiconductor and data storage industry.

Microspot XRF analysis on production wafers
Versatile wafer handling
For in-line production XRF analysis
Designed for ease-of-use

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