一,機(jī)器用途
KJ型鏡片擴(kuò)張機(jī)被廣泛應(yīng)用與發(fā)光二極管,中小型功率三極管,集成電路和一些特殊半導(dǎo)體器件生產(chǎn)企業(yè)內(nèi)的晶粒擴(kuò)張工序。
二,機(jī)器特點:
①采用雙氣缸上下控制;
②恒溫設(shè)計,膜片周邊擴(kuò)張均勻適度;
③加熱,拉伸,擴(kuò)晶,固膜一次完成;
④加熱溫度,擴(kuò)張時間,回程速度均勻可調(diào);
⑤操作簡便,單班產(chǎn)量大;
⑥機(jī)器外型見實物。
三,技術(shù)參數(shù):
品名規(guī)格 | 外形尺寸 | 擴(kuò)張面積 | 凈重 |
KJ-04 | 270x220x820mm | 4寸擴(kuò)晶環(huán) | 19 |
KJ-06 | 270x220x820mm | 6寸擴(kuò)晶環(huán) | 20 |
KJ-07 | 350x300x1200mm | 7寸擴(kuò)晶環(huán) | 30 |
KJ-08 | 350x320x1200mm | 8寸擴(kuò)晶環(huán) | 32 |
KJ-9.5 | 400x350x1300mm | 9.5寸擴(kuò)晶環(huán) | 36 |
KJ-10 | 400x350x1300mm | 10寸擴(kuò)晶環(huán) | 38 |
1,電源電壓:220VAC(50Hz)士10%
2,工作氣壓:4Kg/cm2
3,溫度范圍:室溫~100℃
4,上氣缸行程: 200/250/300mm
5,下氣缸行程:75mm(可雙向調(diào)節(jié))
四,操作步驟:
1,插上電源,氣管快速接頭接上高壓氣管,上氣缸自動回升至頂端;
2,打開電源開關(guān),將溫度設(shè)定于60℃(不同晶片膜溫差異士5℃);
3,按“下氣缸下降”按鈕,使下托盤回至下方,反復(fù)幾次下氣缸動作,將上升與下降速度調(diào)整至適合速度。(設(shè)備背面有兩個旋鈕可以調(diào)整下托盤的上升及下降速度)
4,松開紅柄鎖扣,向左掀起上工件板,先將擴(kuò)晶環(huán)內(nèi)環(huán)放于下托盤上,再將粘有晶片的翻晶膜放于下工件正*,晶片朝上,將上工件板蓋上,鎖緊紅柄鎖扣。
5,按下“下氣缸上升”開關(guān),下托盤徐徐上升,薄膜開始向四周擴(kuò)散,晶粒間隔逐漸拉大,當(dāng)晶片間隔擴(kuò)散至原來的2~3倍或要求大小時既停止操作,將擴(kuò)晶環(huán)外環(huán)圓角朝下平放在薄膜與內(nèi)環(huán)正上方。
6,按下“上氣缸下降”按鈕,上壓盤下降,將擴(kuò)散后的翻晶膜套緊定位,松開按鈕上壓盤回*方。
7,按下“下氣缸下降”按鈕,下托盤下降至下方,掀起上工件板取出擴(kuò)晶完畢的翻晶膜,修剪多余膜面,送下工序備背膠固晶。
五,維護(hù)保養(yǎng):
1,用干凈布塊擦拭附著灰塵,活動部位定期涂少許機(jī)油潤滑;
2,放置翻晶膜的位置必須干凈,附著的油脂及灰塵會污染晶片,造成不良品產(chǎn)生。
六,注意事項:
1,氣缸工作時切勿將手接近或放入壓合面;
2,下壓模表面切勿用銳器敲擊,磨擦,以免形成傷痕;
3,機(jī)器安裝時,應(yīng)正確可靠接地;
4,機(jī)箱內(nèi)電源危險,箱門應(yīng)鎖緊;
5,更換加熱管或其它電器元件時,需在電源插頭拔下時方可進(jìn)行;
6,切勿用帶水或溶劑的抹布擦拭機(jī)器,以免產(chǎn)生漏電或燃燒危險。
七,售后服務(wù):
產(chǎn)品保修半年,終身維護(hù)。
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