美國keyhigh PEV-1壓電閥（PEV-1 PIEZOELECTRIC GAS LEAK VALVE）是為了適用真空系統(tǒng)的高精度氣體流量控制閥門，主要應用領域包括：磁控濺射鍍膜，光學鍍膜，ITO鍍膜，等離子體刻蝕等?？膳c國產(chǎn)自動壓強控制儀配套使用，來實現(xiàn)閉環(huán)控制，達到穩(wěn)定壓強的目的，性價比高。
PEV-1 壓電閥主要技術特點：
1、控制模式：開環(huán)控制和閉環(huán)控制
2、易于集成：可與國產(chǎn)自動壓強控制儀配套使用，來實現(xiàn)閉環(huán)控制，達到穩(wěn)定壓強的目的，性價比高，同時亦可選擇進口壓強控制儀
3、響應時間快
4、性能穩(wěn)定，壓電陶瓷片壽命長
6、無機械連接件，無伺服馬達，無磨損，在斷電的情況下可實現(xiàn)自動關閉的特點
PEV-1壓電閥技術參數(shù)：
閥門類型：壓電晶體
可控制的氣體：兼容各種材料
流量范圍：0？500 SCCM
漏率：<1x10E-9 scc/sec（1ATM HE ON INLET）
響應時間：2微秒
大進氣壓力：50 PSI
驅動要求：電壓：0-100VDC，電流：<10μA
操作溫度范圍：＋10°C 到 ＋60°C
材料：316不繡剛，氟橡膠，特富龍，陶瓷片
進氣和出氣連接：1/4"Swagelok Fittings
電氣連接：標準BNC
重量：800克
1、控制模式：開環(huán)控制和閉環(huán)控制
2、易于集成：可與國產(chǎn)自動壓強控制儀配套使用，來實現(xiàn)閉環(huán)控制，達到穩(wěn)定壓強的目的，性價比高，同時亦可選擇進口壓強控制儀
3、響應時間快
4、性能穩(wěn)定，壓電陶瓷片壽命長
6、無機械連接件，無伺服馬達，無磨損，在斷電的情況下可實現(xiàn)自動關閉的特點
PEV-1壓電閥技術參數(shù)：
閥門類型：壓電晶體
可控制的氣體：兼容各種材料
流量范圍：0？500 SCCM
漏率：<1x10E-9 scc/sec（1ATM HE ON INLET）
響應時間：2微秒
大進氣壓力：50 PSI
驅動要求：電壓：0-100VDC，電流：<10μA
操作溫度范圍：＋10°C 到 ＋60°C
材料：316不繡剛，氟橡膠，特富龍，陶瓷片
進氣和出氣連接：1/4"Swagelok Fittings
電氣連接：標準BNC
重量：800克
