小口徑熱式氣體質(zhì)量流量計采用關(guān)鍵矽微機械加工技術(shù)的MS流量傳感器具有測量微小、小流量的優(yōu)勢的MEMS氣體質(zhì)量流量計和流量控制器，靠性高、重復(fù)性好，壓損小，無可動部件，量程比寬，響應(yīng)時間較快，測量精度高，無需溫度壓力補償；主要用于輕工、化工、環(huán)保及半導(dǎo)體等工業(yè)部門的空氣、氧氣、氬氣、氮氣等氣體的檢測和控制，能替代浮子流量計、孔板流量計等流量計。
小口徑熱式氣體質(zhì)量流量計技術(shù)參數(shù)：
·口徑：DN3、DN6、DN8、DN10
·DN3流量范圍：50、100、300、500、1000sccm
·DN6—DN10流量范圍：1、2、5、10、20、30、40、50SLM
流量測量準(zhǔn)確度：±1.5%FS，2.5%FS.
·測量介質(zhì)溫度：0~50℃;
·工作壓力范圍：0.3MPa，0.6MPa．1.0MPa
·供電電源：24VDC±10%;
·輸出信號：4-20mA，RS485通訊；
·環(huán)境溫度：0～55℃;
·可帶兩點報警；
·流量顯示位數(shù)：瞬時流量為三位，累積流量10位；
·提供軟件進行20臺以內(nèi)流量計集中控制、修改參數(shù)。
