光伏電池飛秒激光工作站 SOLLAS |
SOLLAS是WOP專門為硅基太陽能電池行業(yè)開發(fā)的激光加工機(jī)床,配置有飛秒紫外激光器和納秒紅外激光器,具有多任務(wù)操作功能,用于工業(yè)和研究,產(chǎn)能3MW/a。 光伏電池激光加工優(yōu)勢: · 晶圓更薄 · 破損率更低 · 精密深度控制 · 飛秒激光冷加工 · 參數(shù)調(diào)整,促進(jìn)生產(chǎn)開發(fā) · 選擇性刻蝕(根據(jù)不同材料控制能量傳遞) 產(chǎn)品特點: · 工業(yè)研究生產(chǎn)線產(chǎn)量2.5 MW/a · 飛秒紫外和納秒紅外激光源 · 機(jī)器視覺系統(tǒng)探測旋轉(zhuǎn)和調(diào)整激光掃描區(qū)域 · 使用高性能掃描振鏡精細(xì)激光束控制 · 5”和6”晶圓加工 · 生產(chǎn)模式下直觀的觸摸屏用戶使用界面(SCA工程設(shè)計) · 研究模式下全功能軟件(SCA工程設(shè)計) SOLLAS 執(zhí)行4項工藝: · 選擇性刻蝕SiNx/SiO2 · 后觸點激光燒制 · 邊緣絕緣處理 · 激光標(biāo)刻 · 可行性測試后整合其他加工過程 應(yīng)用舉例: 晶圓加工 使用UV飛秒激光脈沖刻蝕單晶圓上SiNx |