IXION 193 SLM激光器 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
IXION 193 SLM系統(tǒng)是一種單頻全固態(tài)激光器,用于光學(xué)計(jì)量、193nm步進(jìn)光學(xué)校準(zhǔn)或高功率ArF*的帶寬控制。其小于80MHz的頻譜帶寬接近其理論傅里葉極限。該激光器的中心波長(zhǎng)可在185至194nm范圍內(nèi)定制,并可在購買時(shí)預(yù)先配置為固定波長(zhǎng)。作為高精度光譜儀的一種選擇,系統(tǒng)具有0.001 nm光譜精度。這可以大限度地控制激光的光譜調(diào)諧。 特點(diǎn): ● TEM00光束 ● 二極管泵浦 ● Q開關(guān)全固態(tài)激光器 ● 單頻波長(zhǎng)193.368nm 應(yīng)用: ○ 光譜校準(zhǔn) ○ 光刻 ○ 干涉度量 ○ 193nm計(jì)量 ○ 半導(dǎo)體檢測(cè) ○ 準(zhǔn)分子的種子源 可選項(xiàng): ○ 圖形化用戶界面 ○ Labview數(shù)據(jù)庫 ○ 精確的光譜儀 ○ 中心波長(zhǎng):185-194nm ○ CDRH規(guī)格快門 產(chǎn)品參數(shù):
所有數(shù)據(jù)均在重復(fù)頻率為6 kHz下測(cè)得 波長(zhǎng)穩(wěn)定性&光斑輪廓 光譜特性&功率穩(wěn)定性 激光頭尺寸
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