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日本電子JSM-7200F 熱場發(fā)射掃描電子顯微鏡-顯微鏡/望遠鏡

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  • 型號
  • 品牌
  • 所在地
  • 更新時間2020-08-27
  • 廠商性質(zhì)代理商
  • 入駐年限1
  • 實名認證已認證
  • 產(chǎn)品數(shù)量1072
  • 人氣值4370
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日本電子JSM-7200F 熱場發(fā)射掃描電子顯微鏡-顯微鏡/望遠鏡 產(chǎn)品詳情
JSM-7200F的電子光學系統(tǒng)應(yīng)用了日本電子旗艦機-JSM-7800F Prime采用的浸沒式肖特基電子槍技術(shù),標配TTLS系統(tǒng)(Through-The-Lens System),無論是在高/低加速電壓下,空間分辨率都比傳統(tǒng)機型有了很大的提升。此外,保證300nA的大束流,能兼顧高分辨率觀察和高通量分析,具有充實的自動功能和易用性,是新一代的多功能場發(fā)射掃描電鏡。
<特點>
JSM-7200F的主要特點有:應(yīng)用了浸沒式肖特基電子槍技術(shù)的電子光學系統(tǒng);利用GB(Gentle Beam 模式)和各種檢測器在低加速電壓下能進行高分辨觀察和選擇信號的TTLS系統(tǒng)(Through-The-Lens System);電磁場疊加的混合式物鏡。
浸沒式肖特基電子槍
浸沒式肖特基場發(fā)射電子槍為日本電子的技術(shù),通過對電子槍和低像差聚光鏡進行優(yōu)化,能有效利用從電子槍中發(fā)射的電子,即使電子束流很大也能獲得很細的束斑。因而可以實現(xiàn)高通量分析(EDS、WDS面分析、EBSD分析等)。
TTLS(through-the-lens系統(tǒng))
TTLS(through-the-lens系統(tǒng))是利用GB(Gentle Beam 模式)在低加速電壓下能進行高分辨率觀察和信號選擇的系統(tǒng)。 利用GB(Gentle Beam 模式)通過給樣品加以偏壓,對入射電子有減速、對樣品中發(fā)射出的電子有加速作用,即使在低加速電壓(入射電壓)下,也能獲得信噪比良好的高分辨率圖像。
此外,利用安裝在TTLS的能量過濾器過濾電壓,可以調(diào)節(jié)二次電子的檢測量。這樣在極低加速電壓的條件下,用高位檢測器(UED)就可以只獲取來自樣品淺表面的大角度背散射電子。因過濾電壓用UED沒有檢測出的低能量電子,可以用高位二次電子檢測器(USD,選配件)檢測出來,因此JSM-7200F能同時獲取二次電子像和背散射電子像。
混合式物鏡(電磁場疊加)
JSM-7200F的物鏡采用了本公司新開發(fā)的混合式透鏡。
這種混合式透鏡是組合了磁透鏡和靜電透鏡的電磁場疊加型物鏡,比傳統(tǒng)的out-lens像差小,能獲得更高的空間分辨率。 JSM-7200F仍然保持了out-lens的易用性,所以可以觀察和分析磁性材料樣品。
關(guān)鍵詞:過濾器
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