- 模擬式熱質(zhì)式流量計/流量控制器 / Flow controller 低單價、環(huán)境溫度補正、可應用的流率范圍廣:
-0~5,10,20,30,50,100,200,
500SCCM;-0~1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30SLM一 - 精度高 / High precision ±1%(≤15SLM)、±2%(>15SLM.) 二
- LF系列控制模塊 / LF series control module 可選用LF系列控制模塊,具有數(shù)位顯示、電源供應、流量設定等功能 三
功能 | 流量計/控制器 | |
基本型號 | LF400-S | |
滿量程流量范圍(N2) | SCCM | 0~5,10,20,30,50,100,200,500 |
SLM | 0~1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30 | |
精度(%F.S) | ±1(≤15SLM) | |
±2(>15SLM.) | ||
控制閥動作型式 | 常閉式 | |
線性(%F.S.) | ±0.5~1(≤15SLM) | |
±2%(>15SLM.) | ||
重復精度(%F.S.) | ±0.2 | |
響應時間(sec) | ≤1 | |
流量輸出信號 | 0-+5.00V | |
流量設定信號 | 0-+5.00V | |
電器接頭 | DB15 pin(接頭) | |
工作環(huán)境溫度 | (℃) | 5~45 |
工作壓差 | (MPa) | 0.1~0.5 |
漏率 | SCCSHe | 1×10-9 |
大耐壓 | 3MPa | |
介質(zhì)接觸材質(zhì) | 304,316,316L | |
密封材料 | 氟橡膠,硅橡膠,橡膠,聚四氟乙烯 | |
接頭 | VCR " 1/4、1/2 | |
Swagelok1/8”、1/4” 、3/8” 、1/2”或φ3、φ6、φ8、φ10、φ12mm | ||
接頭和尺寸 | Φ6mm,1/4"Swagelok:127×28×100mm | |
1/4"VCR:127×28×100mm | ||
電源要求 | +15V,50mA;-15V,200mA | |
重量 | 0.75KG |
| |
輸出電源 | +15V±5% 500mA -15V±5% 500mA |
基準源 | +5.00V±0.1% 5mA |
供電電源 | 8VDC-24VDC,50Hz±5% |
輸入輸出信號 | 電壓信號0-5V,電流信號4-20mA |
外形尺寸 | 96×96×125mm |
顯示器 | 128×64點陣式液晶,高亮度寬溫(-20~70℃)液晶屏,畫面清晰LED背光 |
大功耗 | 8w |
控制通道 | 單路控制顯示 |
基本誤差 | ±0.2%FS |
環(huán)境溫度 | 0-50℃ |
環(huán)境濕度 | 0-85%RH |
防護等級 | IP40 |