耐高压热式气体质量流量传感器阀门LF420-F：简要描述：用于对小流量气体的质量流量进行精密的测量和控制，具有耐高压，精度高，稳定性好，可选模拟电路或数字电路，可靠性高等特点。广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业。
耐高压热式气体质量流量传感器阀门LF420-F技术参数：
产品型号 | LF420-F（模拟型） | LF485-F（数字型） | |
满量程范围 | SCCM 0～5，10，20，30，50，100，200，500 SLM 0～1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30 | ||
量程比 | 控制器50:1 | 流量计100:1 | |
精度 | ±1.0%F.S | ||
线性 | ±0.5%F.S | ||
重复性 | ±0.2%F.S | ||
阀门类型 | 常闭阀 | ||
响应时间 | ≤1S-3S | ||
工作压差 | 0.1...0.5Mpa | ||
耐压 | 10MPa | ||
工作环境温度 | 5...45℃ | ||
泄漏率 | 1×10-8Pa.m3/s | ||
通信信号 | 0-5V 或 4-20MA | RS485 MODBUS协议/RS232 | |
供电方式 | +15V—24VDC（250mA） | ||
密封材料 | 丁晴橡胶 氟橡胶 | ||
接头尺寸 | 3mm 6mm 8mm 10mm 1/8” 1/4” 3/8” | ||
电器接头 | DB9针 | ||
