用途：主要用于三坐標(biāo)、機(jī)床的校準(zhǔn)工作

激光干涉儀是以光波為載體，以光波波長(zhǎng)為單位的一種計(jì)量測(cè)試方法，是*的高精度、高靈敏度的檢測(cè)手段，在制造領(lǐng)域應(yīng)用廣泛。

SJ6000激光干涉儀產(chǎn)品采用美國(guó)進(jìn)口高穩(wěn)頻氦氖激光器、激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)、高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊、幾何參量干涉光路設(shè)計(jì)、高精度激光干涉信號(hào)處理系統(tǒng)、高性能計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)技術(shù)，實(shí)現(xiàn)各種參數(shù)的高精度測(cè)量。通過(guò)激光熱穩(wěn)頻控制技術(shù)，實(shí)現(xiàn)快速(5~10分鐘)、高精度(0.05ppm)、抗*力強(qiáng)、*穩(wěn)定性好的激光頻率輸出，采用不同的光學(xué)鏡組與激光配合，得到不同的干涉信號(hào)，然后通過(guò)高精度激光干涉信號(hào)處理系統(tǒng)得到干涉數(shù)據(jù)，將數(shù)據(jù)通過(guò)計(jì)算機(jī)進(jìn)行顯示和動(dòng)態(tài)分析。

SJ6000激光干涉儀產(chǎn)品具有測(cè)量精度高、測(cè)量速度快、高測(cè)速下分辨率高、測(cè)量范圍大等優(yōu)點(diǎn)。通過(guò)與不同的光學(xué)組件結(jié)合，可以實(shí)現(xiàn)對(duì)直線度、垂直度、角度、平面度、平行度等多種幾何精度的測(cè)量。在相關(guān)軟件的配合下，還可以對(duì)數(shù)控機(jī)床進(jìn)行動(dòng)態(tài)性能檢測(cè)，如可以測(cè)量數(shù)控機(jī)床的定位精度、重復(fù)定位精度、微量位移精度等動(dòng)態(tài)參量，可以進(jìn)行機(jī)床振動(dòng)測(cè)試與分析，滾珠絲桿的動(dòng)態(tài)特性分析，驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析，導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析等，具有*的精度和效率，而且及時(shí)處理數(shù)據(jù)，為機(jī)床誤差修正提供依據(jù)。

系統(tǒng)具有模塊化結(jié)構(gòu)，您可以從中圖儀器的一系列產(chǎn)品中選擇組件，以滿足您的具體測(cè)量需求。

1. 功能特點(diǎn)

1.1. 產(chǎn)品功能特點(diǎn)

1. 測(cè)量精度高：以激光干涉技術(shù)為核心，分辨率可達(dá)納米級(jí)；采用高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊，解決溫度、空氣壓力、相對(duì)濕度、材料溫度等環(huán)境因素對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響；使用激光熱穩(wěn)頻控制系統(tǒng)，保證激光*穩(wěn)頻精度；干涉鏡與主機(jī)分離設(shè)計(jì)，避免干涉鏡受熱變形，保證干涉光路穩(wěn)定。

2. 具有實(shí)現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度等幾何量的檢測(cè)功能。可以檢測(cè)數(shù)控機(jī)床、三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)等精密運(yùn)動(dòng)設(shè)備運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等；同時(shí)也能檢測(cè)運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、垂直度和直線度；并且可滿足回轉(zhuǎn)軸分度精度的測(cè)量。

3. 可根據(jù)用戶設(shè)定的補(bǔ)償方式自動(dòng)生成誤差補(bǔ)償表，滿足機(jī)床誤差修正的要求。

4. 具有動(dòng)態(tài)測(cè)量（位移-時(shí)間曲線、速度-時(shí)間曲線、加速度-時(shí)間曲線）及測(cè)量振幅和頻率分析的功能，可進(jìn)行機(jī)床振動(dòng)測(cè)試與分析，滾珠絲桿的動(dòng)態(tài)特性分析，驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析，導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析等。

5. 內(nèi)置各種類國(guó)標(biāo)（GB）、ISO（）、BS（英制）、美標(biāo)、DIN（德標(biāo)）、JIS（日標(biāo)）等機(jī)床檢驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)?？梢罁?jù)各種機(jī)床標(biāo)準(zhǔn)分析處理數(shù)據(jù)，并根據(jù)測(cè)量結(jié)果可打印相應(yīng)的曲線圖和數(shù)據(jù)報(bào)告。

6. 可自動(dòng)監(jiān)測(cè)環(huán)境溫度、材料溫度、環(huán)境濕度和大氣壓力的參數(shù)。可選擇手動(dòng)或自動(dòng)對(duì)波長(zhǎng)進(jìn)行環(huán)境補(bǔ)償。

7. 測(cè)量記錄采用集中式數(shù)據(jù)庫(kù)管理，可按被測(cè)件類型、生產(chǎn)單位、出廠編號(hào)、檢定員、送檢單位、設(shè)備編號(hào)、檢定日期和有效日期等查詢和管理檢定記錄；可將檢定數(shù)據(jù)輸出到Word、Excel、AutoCAD（選配）文檔。

8. 安裝方便：基本重量為15kg，簡(jiǎn)單便攜。

1.2. 分析標(biāo)準(zhǔn)配置

激光干涉儀測(cè)量分析軟件支持以下檢驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)：

2. 技術(shù)指標(biāo)

2.1. 技術(shù)指標(biāo)

 系統(tǒng)性能

    1、測(cè)量方式：?jiǎn)晤l

    2、穩(wěn)頻精度：0.05ppm

    3、動(dòng)態(tài)采集頻率：50 kHz

    4、預(yù)熱時(shí)間：5-10分鐘

    5、工作溫度范圍：0~40℃

    6、環(huán)境溫度范圍：0~40℃

       7、存儲(chǔ)溫度范圍：-20℃~70℃

 環(huán)境補(bǔ)償示值誤差

    1、空氣溫度傳感器：±0.2℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃

        2、材料溫度傳感器：±0.1℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃

    3、空氣濕度傳感器：±6% (0-95%)

    4、大氣壓力傳感器：±1mBar (650-1150mbar)

   線性測(cè)量

    1、測(cè)量距離：0-40m

    2、測(cè)量精度：0.5ppm (0-40℃)

    3、測(cè)量分辨率：1nm

    4、測(cè)量大速度：4m/sec

   角度測(cè)量

    1、軸向量程：0-15m

    2、測(cè)量范圍：±10°

    3、測(cè)量精度：±0.6%R±0.5±0.1M μm/m（M為光學(xué)鏡移動(dòng)距離，單位：m）

    4、測(cè)量分辨率：0.1μm/m

   直線度測(cè)量

    1、軸向量程：0.1-4.0 m

    2、測(cè)量范圍：±2.5 mm

    3、測(cè)量精度：±0.5% R±0.5±0.15M2 μm（M為光學(xué)鏡移動(dòng)距離，單位：m）

    4、測(cè)量分辨率：0.01μm

   垂直度測(cè)量

    1、測(cè)量范圍：±3/M mm/m

    2、測(cè)量精度：±0.5% R±2.5±0.8M μm/m（M為光學(xué)鏡移動(dòng)距離，單位：m）

    3、測(cè)量分辨率：0.01μm/m

   平面度測(cè)量

    1、軸向量程：0-15 m

    2、測(cè)量范圍：±1.5 mm

    3、測(cè)量精度：±0.6% R±0.02 M2 μm/m（M為光學(xué)鏡移動(dòng)距離，單位：m）

    4、測(cè)量分辨率：0.1μm

   回轉(zhuǎn)軸分度精度測(cè)量

    1、角度測(cè)量范圍：0-360°

    2、精密轉(zhuǎn)臺(tái)角度增量：5°

    3、精密轉(zhuǎn)臺(tái)分度精度：±1秒

    4、精密轉(zhuǎn)臺(tái)重復(fù)性：0.2秒

2.2. 尺寸重量與供電

    便攜箱尺寸：560×360×250（基礎(chǔ)系統(tǒng)），560×460×270（完整系統(tǒng)）

    基本重量(含三腳架，包裝)：15Kg

    供電電源：110~265VAC

3. 系統(tǒng)組件

3.1. 系統(tǒng)組件

1) SJ6000主機(jī)：1臺(tái)

2) 環(huán)境補(bǔ)償單元：1臺(tái)

3) 光學(xué)鏡組：

線性測(cè)量光學(xué)鏡組：1套（標(biāo)準(zhǔn)配置）

小型線性光學(xué)鏡組：1套（標(biāo)準(zhǔn)配置）

      小角度測(cè)量光學(xué)鏡組：1套（選配）

      直線度測(cè)量光學(xué)鏡組：1套（選配）

      垂直度測(cè)量光學(xué)鏡組：1套（選配）

      平面度測(cè)量輔助附件：1套（選配）

回轉(zhuǎn)軸測(cè)量精密轉(zhuǎn)臺(tái)：1套（選配）

4) 測(cè)量軟件：1套

5) 便攜式筆記本電腦：1臺(tái)

6) 便攜式儀器配件箱：1個(gè)

7) 通用三腳架：1個(gè)

8) 云臺(tái)附件：1套

9) 磁性表座：2套

10)  產(chǎn)品使用說(shuō)明書(shū)：1套

11)  產(chǎn)品合格證、保修卡：1套

12)  免費(fèi)保修：1年