乾曜光學(xué)提供普通精度的球面標(biāo)準(zhǔn)鏡和超精密球面標(biāo)準(zhǔn)鏡,有效口徑有150mm(6英寸),100mm (4英寸), 60mm,30mm。150mm和100mm口徑鏡頭與Zygo通用,60mm和30mm口徑鏡頭與富士通用。球面標(biāo)準(zhǔn)鏡頭
超精密球面標(biāo)準(zhǔn)鏡為代理國外產(chǎn)品,精度達(dá)PV<λ/40(λ=632.8nm)。精度測試文件儲(chǔ)存為Zygo干涉儀的標(biāo)準(zhǔn)數(shù) 據(jù)格式,在Zygo干涉儀的數(shù)據(jù)中能夠移除標(biāo)準(zhǔn)球面的誤差,以達(dá)到測量。
選配要點(diǎn):球面標(biāo)準(zhǔn)鏡頭
待測球面的R/D(曲率半徑與口徑的比值)應(yīng)當(dāng)大于球面鏡頭的F數(shù),才能實(shí)現(xiàn)全口徑測量;建議選取F數(shù)(略 小于)被測面R/D值的球面鏡頭。
凸面曲率半徑與口徑的測量范圍受限于鏡頭標(biāo)準(zhǔn)面的曲率半徑與有效通光口徑;凹面的測量范圍受限于測試腔的 長度(也即是儀器導(dǎo)軌的有效移動(dòng)距離)與寬度(也即是載物臺(tái)的橫向尺寸)。
注:
1、 QY-150-XX系列鏡頭適用于G150系列干涉儀;QY-100-XX系列鏡頭適用于G100系列干涉儀;QY-60-XX系列鏡頭適用于G60系列干涉儀;QY-30-XX系列鏡頭適用于G30系列干涉儀。
2、測量凸面大曲率指與鏡頭標(biāo)準(zhǔn)面貼合時(shí)的被測曲率。
3、表中()內(nèi)數(shù)據(jù)為使用特殊夾具時(shí),對應(yīng)G150D,G100D,G60D和G30D時(shí)的數(shù)據(jù)。
4、可檢查小口徑以及小曲率半徑根據(jù)被檢物的形狀而異。