G100和G150臥式激光干涉儀的有效口徑分別為100mm(4英寸)和150mm(6英寸)。乾曜光學(xué) 將*干涉測(cè)量技術(shù)與大尺寸、大曲率鏡片測(cè)量的市場(chǎng)需求相結(jié)合,優(yōu)化光學(xué)系統(tǒng)和機(jī)械系統(tǒng) 結(jié)構(gòu),將高精度的成像系統(tǒng)和圖像采集系統(tǒng),穩(wěn)定的激光干涉技術(shù)和1-6.7倍圖像放大功能等一系列 高精技術(shù)融合,滿足科研級(jí)高精密光學(xué)元件和光學(xué)系統(tǒng)的測(cè)量的要求。
G150激光干涉儀配置6英寸球面標(biāo)準(zhǔn)鏡,能夠有效地解決大口徑凸面鏡的面形和曲率測(cè)試。
G100和G150臥式激光干涉儀
主要用途: 球面類光學(xué)元件 (包括各類玻璃、塑料透鏡、球 面反射鏡、光圈量規(guī)、球面軸承 等)表面光圈、局部形變的測(cè)量, 球面曲率半徑的測(cè)量(配合光柵 尺)。平面類光學(xué)元件(平面鏡、 水晶、陶瓷、標(biāo)準(zhǔn)量塊等)的表 面光圈的測(cè)量。光學(xué)系統(tǒng)的在線 監(jiān)視裝調(diào)和系統(tǒng)精度測(cè)量。
核心器件*,性能穩(wěn)定
1/2英寸尺寸黑白CCD,相對(duì)1/3英寸CCD加大的感光面積,有效提高成像分辨率;
進(jìn)口氦氖激光器,性能穩(wěn)定,壽命長(zhǎng)。
球面測(cè)量系統(tǒng):
?45mm寬規(guī)格導(dǎo)軌,精度高,滑動(dòng)順暢,五維調(diào)整架安裝于導(dǎo)軌上方。
?五維調(diào)整架XYZ平移全部使用直線導(dǎo)軌結(jié)構(gòu),線性好,彈簧輔助消間隙。
?五維調(diào)整架可調(diào)同軸透鏡座(三爪)大夾持160mm。
?可調(diào)同軸透鏡座(三爪)調(diào)節(jié)螺桿反向螺牙設(shè)計(jì),實(shí)現(xiàn)順時(shí)針旋轉(zhuǎn)收縮,逆時(shí)針旋轉(zhuǎn)擴(kuò)張
品牌球面測(cè)量系統(tǒng),中國(guó):
?單根25mm細(xì)導(dǎo)軌結(jié)構(gòu),載物臺(tái)直接在氣浮平臺(tái)上摩擦滑動(dòng),磨損氣浮平臺(tái)。
?五維調(diào)整架XYZ平移全部使用交叉導(dǎo)軌結(jié)構(gòu),容易磨損產(chǎn)生間隙,不可消除。
?五維調(diào)整架可調(diào)同軸透鏡座(三爪)大夾持僅110mm。
?可調(diào)同軸透鏡座(三爪)調(diào)節(jié)螺桿正向螺牙設(shè)計(jì),順時(shí)針旋轉(zhuǎn)擴(kuò)張,逆時(shí)針旋轉(zhuǎn)收縮,與操作習(xí)慣相反,容易造成鏡片摔落。
100mm和150mm球面標(biāo)準(zhǔn)鏡頭(G100和G150)
球面標(biāo)準(zhǔn)鏡頭系列有多個(gè)規(guī)格匯聚鏡頭和長(zhǎng)焦距發(fā)散鏡頭,提供定制鏡頭。標(biāo)準(zhǔn)鏡頭分別與Zygo 4英寸和6英寸干涉儀通用。