天津瑞利光電科技有限公司優(yōu)勢經(jīng)銷PIEZOSYSTEM JENA壓電定位器PXY系列
PIEZOSYSTEM JENA壓電定位器PXY系列
關鍵字描述:構造原理得到非常高的分辨率,遠遠超過了機械和機電定位系統(tǒng)的分辨率。
產(chǎn)品介紹:
準確的平行運動
Max.200µm的運動范圍
無機械間隙
容易與其他壓電系統(tǒng)結合
精密銷孔,可準確調節(jié)
高動態(tài)范圍
可用于光纖定位、二維掃描系統(tǒng)、光束對準、半導體、微操作
平行四邊形構造的固態(tài)鉸鏈提供平行運動,而在x和y方向上沒有機械間隙。這些構造原理得到非常高的分辨率,遠遠超過了機械和機電定位系統(tǒng)的分辨率。
參數(shù):
軸:X,Y
開環(huán)運動(±10%)/閉環(huán)運動(±0.2%):200 /-µm
每軸電容(±20%):5.2µF
分辨率(開/閉環(huán)):0.4 /- nm
諧振頻率x / y(空載):350/350 Hz
推/拉力
X軸:max. 130/13 N
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