靈活的系統(tǒng)組合、**的成像性能、穩(wěn)定的系統(tǒng)結構,**應用于工業(yè)檢測及金相分析領域
SOPTOP半導體12寸晶圓檢查顯微鏡MX-12R
各操作機構根據(jù)人機工程學設計,*大限度減輕使用疲勞。模塊化的部件設計,可對系統(tǒng)功能進行自由組合。SOPTOP半導體12寸晶圓檢查顯微鏡MX-12R
全新設計的長工作距**金相物鏡,高倍物鏡采用半復消技術。
各種觀察方法下都能得到清晰銳利與高對比度的顯微圖像。
附件齊全,配置完善,可靈活進行系統(tǒng)組合與功能拓展。
人機工程學設計、堅實可靠的系統(tǒng)結構。
**的光學設計,支持多種觀察技術,充分滿足各類超大平臺設計,半導體/FPD檢測需
全自動化方案,讓工業(yè)檢測更輕松、更便捷、更高效
12寸超大平臺設計,為半導體/FPD行業(yè)提供*舒適的操作體驗
光學系統(tǒng) | 無限遠色差校正光學系統(tǒng) |
觀察筒 | 鉸鏈式正像三通觀察筒,0~35°仰角可調;瞳距調節(jié):50mm~76mm;分光比雙目,三目=0:100或100:0 |
目鏡 | 高眼點大視野平場目鏡PL10X/25mm,視度可調 高眼點大視野平場目鏡PL10X/26.5mm,視度可調 |
物鏡 | 明暗場半復消金相物鏡【5X、10X、20X、50X、100X】 |
轉換器 | 明暗場內傾式6孔轉換器,帶DIC插槽 |
載物臺 | 14X12英寸離合式機,移動行程:356mmX305mm機械平臺,X、Y方向同軸調節(jié);帶反射用金屬載物臺 |
鏡體 | 反射機架,低手位粗微同軸調焦機構。粗調行程35mm,微調精度0.001mm。帶有防止下滑調節(jié)松緊裝置和隨機上限位裝置。 內置100-240V寬電壓系統(tǒng),帶電動轉換器和電動孔徑光闌切換按鈕。 |
照明系統(tǒng) | 明暗場反射照明器,帶電動孔徑光闌,中心可調;帶明暗場照明切換裝置;帶濾色片插槽與偏光附件插槽。 12V/100W鹵素燈室,預定中心;PHILIPS 7724鹵素燈 |
攝像攝像附件 | 0.5X/0.65X/1XCTV,C接口,可調焦 |
偏光附件 | 起偏鏡插板,檢偏鏡插板 |
可選偏光附件 | 藍色、綠色、紅色、LBD干涉濾色片 |