LEXT OLS4500納米檢測(cè)顯微鏡
有涵蓋了低倍觀察到高倍觀察的4種物鏡，并在電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器上裝配了SPM單元?？梢詿o(wú)縫切換倍率和觀察方法，不會(huì)丟失觀察對(duì)象。此外，該款顯微鏡可以進(jìn)行納米級(jí)觀測(cè)。
LEXT OLS4500納米檢測(cè)顯微鏡為您帶來(lái)的解決方案
實(shí)現(xiàn)納米級(jí)觀測(cè)的新型顯微鏡。不會(huì)丟失鎖定的目標(biāo)。LEXT OLS4500納米檢測(cè)顯微鏡
（電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器切換倍率和觀察方法） | 有涵蓋了低倍觀察到高倍觀察的4種物鏡，并在電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器上裝配了SPM單元。可以無(wú)縫切換倍率和觀察方法，不會(huì)丟失觀察對(duì)象。此外，該款顯微鏡可以進(jìn)行納米級(jí)觀測(cè)。 |
涵蓋了低倍到高倍觀察，并配有多種觀察方法可以迅速發(fā)現(xiàn)觀察對(duì)象。
可以完成低倍到高倍的大范圍倍率觀察。不僅如此，*光學(xué)技術(shù)打造的光學(xué)顯微鏡帶來(lái)多種觀察方法，可以容易的發(fā)現(xiàn)觀察對(duì)象。此外，對(duì)于光學(xué)顯微鏡難以找到的觀察對(duì)象，還可以使用激光顯微鏡進(jìn)行觀察。在激光微分干涉（DIC） 觀察中，可以進(jìn)行納米級(jí)微小凹凸的實(shí)時(shí)觀察。
明視場(chǎng)觀察（IC元件） 微分干涉（DIC）觀察 激光微分干涉（DIC）觀察
縮短從放置樣品到獲取影像的工作時(shí)間。
放置好樣品后，所有的操作都在1臺(tái)裝置上完成。可以迅速，正確的把觀察對(duì)象移到SPM顯微鏡下面，所以只要掃描1次就能獲取所需的SPM影像。
一體機(jī)的機(jī)型，所以無(wú)需重新放置樣品只要在1臺(tái)裝置上切換倍率、觀察方法就能夠靈活應(yīng)對(duì)新樣品。
| OLS4500是把光學(xué)顯微鏡、激光顯微鏡、探針顯微鏡融于一體的一體機(jī)，所以無(wú)需重新放置樣品，即可自由切換3種顯微鏡進(jìn)行觀察和評(píng)價(jià)。這3種顯微鏡各自持有優(yōu)異的性能，所以能夠高效輸出結(jié)果。 |
OLS4500實(shí)現(xiàn)了無(wú)縫觀察和測(cè)量
【發(fā)現(xiàn)】可以迅速發(fā)現(xiàn)觀察對(duì)象
使用光學(xué)顯微鏡的多種觀察方法， 迅速找到觀察對(duì)象
OLS4500采用了白色LED光源， 可以觀察到顏色逼真的高分辨率彩色影像。它裝有4種物鏡， 涵蓋了低倍到高倍的大范圍觀察。OLS4500充分發(fā)揮了光學(xué)觀察的特長(zhǎng)， 除了使用的明視場(chǎng)觀察（BF）以外， 還可以使用對(duì)微小的凹凸添加明暗對(duì)比， 達(dá)到視覺(jué)立體效果的微分干涉觀察（DIC）， 以及用顏色表現(xiàn)樣品偏光性的簡(jiǎn)易偏振光觀察。此外， OLS4500上還配有HDR功能（高動(dòng)態(tài)范圍功能）， 該功能使用不同的曝光時(shí)間拍攝多張影像后進(jìn)行合成， 來(lái)顯示亮度平衡更好、強(qiáng)調(diào)了紋理的影像。在OLS4500上您可以使用多種觀察方法迅速找到觀察對(duì)象。
| BF 明視場(chǎng) 使用的觀察方法。在觀察中真實(shí)再 現(xiàn)樣品的顏色。適用于觀察有明暗對(duì)比 的樣品。 | DIC 微分干涉 對(duì)于在明視場(chǎng)觀察中看不到的樣品的微小高低差， 添加明暗對(duì)比使之變?yōu)榱Ⅲw可視。適用于觀察金 相組織、硬盤和晶圓拋光表面之類鏡面上的傷痕 或異物等。 |
| 簡(jiǎn)易偏振光 照射偏振光（有著特定振動(dòng)方向的光線）， 使樣品的偏光性變?yōu)槿庋劭梢?。適用于觀 察金相組織、礦物、半導(dǎo)體材料等。 | HDR 高動(dòng)態(tài)范圍 使用不同曝光時(shí)間拍攝多張影像并進(jìn)行影像合成， 可以觀察平衡度較好的明亮部分和陰暗部分。此 外，還可以強(qiáng)調(diào)紋理（表面狀態(tài)），進(jìn)行更精細(xì)的 觀察。 |
使用激光顯微鏡，可以觀察到光學(xué)顯微鏡中難以觀察到的樣品影像
OLS4500采用了短波長(zhǎng)405 nm的激光光源和高N.A.的物鏡， 實(shí)現(xiàn)了優(yōu)異的平面分辨率。能以鮮明的影像呈現(xiàn)出光學(xué)顯微鏡中無(wú)法看到的觀察對(duì)象。在激光微分干涉（DIC）模式中還可以實(shí)時(shí)觀察納米級(jí)的微小凹凸。
【接近】迅速發(fā)現(xiàn)觀察對(duì)象，在SPM上正確完成觀察
實(shí)現(xiàn)了無(wú)縫觀察，不會(huì)丟失觀察對(duì)象
OLS4500在電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器上裝配了涵蓋低倍到高倍觀察的4種物鏡， 以及小型SPM單元。在光學(xué)顯微鏡或激光顯微鏡的50倍、100倍的實(shí)時(shí)觀察中， 由于SPM掃描范圍一直顯示于視場(chǎng)中心， 所以把觀察目標(biāo)點(diǎn)對(duì)準(zhǔn)該位置后， 只要切換到探針顯微鏡， 就能夠正確接近觀察對(duì)象。因此， 只需1次SPM掃描就能獲取目標(biāo)影像， 從而能夠提高工作效率并降低微懸臂的損耗。
不會(huì)在SPM觀察中迷失的、可切換式向?qū)Чδ?/p>
| 使用探針顯微鏡開(kāi)始觀察之前， 可以在向?qū)М嬅嫔显O(shè)置所需的條件， 如安裝微懸臂、掃描范圍等。所以經(jīng)驗(yàn)較少的操作者也能安心完成操作。 |
【納米級(jí)測(cè)量】簡(jiǎn)單操作，可以迅速獲得測(cè)量結(jié)果
新開(kāi)發(fā)的小型SPM測(cè)頭， 減少了影像瑕疵
新開(kāi)發(fā)的小型SPM測(cè)頭 | OLS4500采用了裝在電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器上的物鏡型SPM測(cè)頭。同軸、共焦配置了物鏡和微懸臂前端，所以切換SPM觀察時(shí)不會(huì)丟失觀察目標(biāo)點(diǎn)。不僅如此，新開(kāi)發(fā)的小型SPM測(cè)頭提高了剛性，所以與傳統(tǒng)產(chǎn)品相比，減少了影像瑕疵并提高了可追蹤性。 |
使用向?qū)Чδ?，自由放大SPM影像
使用向?qū)Чδ埽?可以觀察時(shí)進(jìn)一步放大探針顯微鏡拍到的影像的所需部分倍率。只要在影像上用鼠標(biāo)指針設(shè)置放大范圍并掃描， 就可以獲取所需的SPM影像。可以自由設(shè)置掃描范圍， 所以大幅度提高了觀察和測(cè)量的效率。
向?qū)Чδ茉?0μm×10μm影像上放大3.5μm×3.5μm范圍
優(yōu)異的分析功能， 應(yīng)對(duì)各種測(cè)量目的
曲率測(cè)量（硬盤的傷痕） | OLS4500能夠根據(jù)您的測(cè)量目的分析在各種測(cè)量模式中獲取的影像，并以CSV格式輸出測(cè)量結(jié)果。OLS4500有以下分析功能。
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跟從向?qū)М嬅娴闹甘荆?可輕松操作的6種SPM測(cè)量模式
接觸模式
控制微懸臂與樣品之間作用的排斥力為恒定的同時(shí)， 使微懸臂進(jìn)行靜態(tài)掃描， 在影像中呈現(xiàn)樣品的高度。還可以進(jìn)行彎曲測(cè)量。
動(dòng)態(tài)模式
使微懸臂在共振頻率附近振動(dòng)， 并控制Z方向的距離使振幅恒定， 從而在影像中呈現(xiàn)樣品高度。特別適用于高分子化合物之類表面柔軟的樣品及有粘性的樣品。
相位模式
在動(dòng)態(tài)模式的掃描中， 檢測(cè)出微懸臂振動(dòng)的相位延遲?？梢栽谟跋裰谐尸F(xiàn)樣品表面的物性差。
電流模式
對(duì)樣品施加偏置電壓，檢測(cè)出微懸臂與樣品之間的電流并輸出影像。此外，還可以進(jìn)行I/V測(cè)量。
表面電位模式（KFM）
使用導(dǎo)電性微懸臂并施加交流電壓， 檢測(cè)出微懸臂與樣品表面之間作用的靜電， 從而在影像中呈現(xiàn)樣品表面的電位。也稱作KFM（Kelvin Force Microscope）。
磁力模式（MFM）
在相位模式中使用磁化后的微懸臂進(jìn)行掃描， 檢測(cè)出振動(dòng)的微懸臂的相位延遲， 從而在影像中呈現(xiàn)樣品表面的磁力信息。也稱作MFM（Magnetic Force Microscope）。
硬盤表面樣品?？梢杂^察到磁力信息。 |
裝配了激光掃描顯微鏡，靈活應(yīng)對(duì)多種樣品
輕松檢測(cè)85°尖銳角
采用了有著高N.A. 的物鏡和光學(xué)系統(tǒng)（能大限度發(fā)揮405 nm 激光性能），LEXT OLS4500 可以精確地測(cè)量一直以來(lái)無(wú)法測(cè)量的有尖銳角的樣品。
| 0.12μm行間距 | 高度差標(biāo)準(zhǔn)類型B, PTB-5, Institut für Mikroelektronik, Germany, 6 nm高度測(cè)量中的檢測(cè) |
高度分辨率10 nm，輕松測(cè)量微小輪廓
由于采用405 nm的短波長(zhǎng)激光和更高數(shù)值孔徑的物鏡， OLS4500達(dá)到了0.12 μm的平面分辨率。因此， 可以對(duì)樣品的表面進(jìn)行亞微米的測(cè)量。結(jié)合高精度的光柵讀取能力和奧林巴斯*的亮度檢測(cè)技術(shù)， OLS4500可以分辨出亞微米到數(shù)百微米范圍內(nèi)的高度差。此外， 激光顯微鏡測(cè)量還保證了測(cè)量?jī)x器的兩大指標(biāo)——“正確性”（測(cè)量值與真正值的接近程度）和“重復(fù)性”（多次測(cè)量值的偏差程度）的性能。
從大范圍拼接影像中目標(biāo)區(qū)域
高倍率影像容易使視場(chǎng)范圍變小，而通過(guò)設(shè)置，OLS4500的拼接功能多可以拼接625幅影像，從而能夠獲得高分辨率的大范圍視圖數(shù)據(jù)。不僅如此，還可以在該大范圍視圖上進(jìn)行3D顯示或3D測(cè)量。
可用于傳統(tǒng)的線粗糙度測(cè)量，也可用于信息量較多的面粗糙度測(cè)量
| 近年來(lái)， 工業(yè)產(chǎn)品越來(lái)越趨于小型化和輕量化， 所以構(gòu)成產(chǎn)品的各種部件也越來(lái)越精細(xì)化。隨著這些部件的精細(xì)化， 除了形狀測(cè)量以外， 表面粗糙度測(cè)量的重要性也日益提高。 為了應(yīng)對(duì)這些市場(chǎng)需求， ISO規(guī)定的立體表面結(jié)構(gòu)測(cè)量?jī)x器中， 添加了激光顯微鏡和AFM（ISO 25178-6）。因此， 與傳統(tǒng)的接觸式表面粗糙度測(cè)量相同， 非接觸式表面粗糙度測(cè)量也被認(rèn)定為*評(píng)價(jià)標(biāo)準(zhǔn)。OLS4500中配置了符合ISO規(guī)定的粗糙度參數(shù)。 |
在面粗糙度測(cè)量中詳細(xì)掌握粗糙度的分布和特點(diǎn)
在非接觸式表面粗糙度測(cè)量中， 除了線粗糙度還可以測(cè)量面粗糙度。在面粗糙度測(cè)量中可以掌握樣品表面上區(qū)域內(nèi)粗糙度分布和特點(diǎn)， 并能夠與3D影像對(duì)照評(píng)價(jià)。OLS4500可以根據(jù)不同樣品和使用目的， 分別使用激光顯微鏡功能或探針顯微鏡功能測(cè)量表面粗糙度。
激光顯微鏡的面粗糙度測(cè)量（105μm×105μm）焊盤 探針顯微鏡的面粗糙度測(cè)量（10μm×10μm）
OLS4500的粗糙度參數(shù)
參數(shù)兼容性
OLS4500具有與接觸式表面粗糙度測(cè)量?jī)x相同的表面輪廓參數(shù)，因此具有相互兼容的操作性和測(cè)量結(jié)果。
| 截面曲線 | Pp, Pv, Pz, Pc, Pt, Pa, Pq, Psk, Pku, Psm, PΔq, Pmr(c), Pδc, Pmr |
| 粗糙度曲線 | Rp, Rv, Rz, Rc, Rt, Ra, Rq, Rsk, Rku, Rsm, RΔq, Rmr(c),Rδc, Rmr, RZJIS, Ra75 |
| 波動(dòng)曲線 | Wp, Wv, Wz, Wc, Wt, Wa, Wq, Wsk, Wku, Wsm, WΔq, Wmr(c), Wδc, Wmr |
| 負(fù)荷曲線 | Rk, Rpk, Rvk, Mr1, Mr2 |
| 基本圖形 | R, Rx, AR, W, Wx, AW, Wte |
| 粗糙度 (JIS1994) | Ra(JIS1994), Ry, Rz(JIS1994), Sm, S, tp |
| 其他 | R3z, P3z, PeakCount |
適應(yīng)下一代參數(shù)
OLS4500具有符合ISO25178的粗糙度（3D）參數(shù)。通過(guò)評(píng)估平面區(qū)域，可以進(jìn)行高可靠性的分析。
| 振幅參數(shù) | Sq, Ssk, Sku, Sp, Sv, Sz, Sa |
| 功能參數(shù) | Smr(c), Sdc(mr), Sk, Spk, Svk, SMr1, SMr2, Sxp |
| 體積參數(shù) | Vv(p), Vvv, Vvc, Vm(p), Vmp, Vmc |
| 橫向參數(shù) | Sal, Str |
OLS4500的顯微鏡技術(shù)
光學(xué)顯微鏡的原理和特長(zhǎng)
| 明視場(chǎng)觀察可以獲取顏色信息。 紙張上的墨點(diǎn) | 光學(xué)顯微鏡是從樣品上方照射可見(jiàn)光（波長(zhǎng)約400 nm到800 nm）， 利用其反射光成像， 能夠放大樣品數(shù)十倍到一千倍左右進(jìn)行觀察。光學(xué)顯微鏡的特長(zhǎng)是可以真實(shí)觀察彩色樣品， 還可以切換觀察方法， 強(qiáng)調(diào)樣品表面的凹凸， 利用物質(zhì)的特性（偏光性）進(jìn)行觀察。OLS4500上可以使用下述觀察方法。 明視場(chǎng)觀察 基本的觀察方法，通過(guò)樣品的反射光成像進(jìn)行觀察 微分干涉觀察 簡(jiǎn)易偏振光觀察 |
激光顯微鏡的原理和特長(zhǎng)
可進(jìn)行亞微米級(jí)觀察和測(cè)量的激光顯微鏡（LSM:Laser Scanning Microscope)
| 激光顯微鏡的高精度XY掃描（示例） | 光學(xué)顯微鏡的平面分辨率很大程度上取決于所用光的光子和波長(zhǎng)，采用短波長(zhǎng)的激光掃描顯微鏡（LSM）比采用可見(jiàn)光的傳統(tǒng)顯微鏡，擁 有更高的平面分辨率。 LEXT OLS4500采用405 nm的短波長(zhǎng)半導(dǎo)體激光、高數(shù)值孔徑的物鏡、以及*的共焦光學(xué)系統(tǒng)，可以達(dá)到0.12 μm的平面分辨率。此外，OLS4500配有奧林巴斯*的掃描加掃描型2D掃描儀，可以實(shí)現(xiàn)高達(dá)4096×4096像素的高精度XY掃描。 |
| 高度測(cè)量（微透鏡） | 激光顯微鏡采用短波長(zhǎng)半導(dǎo)體激光和*的雙共焦光學(xué)系統(tǒng)， 會(huì)刪除未聚焦區(qū)域的信號(hào)， 只將聚焦范圍內(nèi)的反射光檢測(cè)為同一高度。同時(shí)結(jié)合高精度的光柵讀取能力， 可以生成高畫質(zhì)的影像， 實(shí)現(xiàn)精確的3D測(cè)量。 |
探針顯微鏡的原理和特長(zhǎng)
可以觀察納米級(jí)微觀世界的探針顯微鏡(SPM:Scanning Probe Microscope)
| 探針顯微鏡的原理 | 探針顯微鏡（SPM）是通過(guò)機(jī)械式地用探針在樣品表面移動(dòng)，檢測(cè)出探針與樣品之間產(chǎn)生的力、電的相互作用，同時(shí)進(jìn)行掃描，從而得到樣品影像。探針曲率半徑為10 nm左右。典型的探針顯微鏡是原子力顯微鏡（AFM），它通過(guò)檢測(cè)探針和樣品表面之間作用的引力和張力進(jìn)行掃描并獲得影像。探針顯微鏡能夠觀察納米級(jí)微觀形貌，可以捕捉到樣品細(xì)的一面。 |
通過(guò)微懸臂掃描進(jìn)行納米觀察
| SPM傳感器光路圖 | OLS4500上采用了光杠桿法——通過(guò)高靈敏度檢測(cè)出前端裝有探針的微懸臂的微小彎曲量（位移）來(lái)進(jìn)行觀測(cè)的方法。在懸臂的背面反射激光，并用壓電元件驅(qū)動(dòng)Z軸，使激光照射到光電檢測(cè)器的位置，從而正確讀取Z方向的微小位移。 |
多種觀察模式在影像中呈現(xiàn)表面形狀和物性
| 高分子薄膜 | 探針顯微鏡擁有多種觀察模式，可以觀察、測(cè)量樣品表面的形狀，還可以進(jìn)行物性分析。OLS4500配有以下模式。
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決定高精細(xì)度、高質(zhì)量影像的微懸臂
探針位于長(zhǎng)度約100μm～200μm的薄片狀微懸臂的前端。您可以根據(jù)樣品選擇不同的彈簧常數(shù)、共振頻率。反復(fù)掃描會(huì)磨損探針， 所以請(qǐng)根據(jù)需要定期更換微懸臂探針。
