*集成式Xe等離子源聚焦離子束掃描電子顯微鏡----FERA3,提供了超高離子束束流(束流為2µA),其濺射速度比Ga離子源高50多倍。對于目前浪費時間或不可能進行的需要刻蝕的材料,F(xiàn)ERA3型儀器是一個不錯的選擇。FERA3 -- 聚焦離子束掃描電鏡
新一代的聚焦離子束掃描電子顯微鏡為用戶提供了的技術(shù)優(yōu)勢,例如:改進的高性能電子設(shè)備使圖像采集得速度更快,帶有靜態(tài)和動態(tài)圖像扭曲補償技術(shù)的超高速掃描系統(tǒng),內(nèi)置的編程軟件等。
FERA3 -- 聚焦離子束掃描電鏡
FERA3的設(shè)計適應(yīng)各種各樣的SEM應(yīng)用與當(dāng)今研究和產(chǎn)業(yè)的需求,其高分辨率、高電流和強大的軟件使TESCAN FIB-SEM成為優(yōu)秀的分析工具。
現(xiàn)代電子光路
- *的三透鏡大視野觀察(Wide Field Optics™)設(shè)計提供了許多工作與顯示模式,體現(xiàn)了TESCAN*可優(yōu)化電子束光闌的中間鏡設(shè)計
- 結(jié)合了完善的電子光學(xué)設(shè)計軟件的實時電子束追蹤(In-Flight Beam Tracing™),可模擬和優(yōu)化電子束
- 全自動的電子光路設(shè)置與合軸
- 成像速度快
- 使用3維電子束技術(shù)可獲取實時立體圖像
- 三維導(dǎo)航
高性能離子光路
- 高性能的等離子i-FIB設(shè)備使切片和材料的刻蝕既快又精確
維修簡單
現(xiàn)在保持電鏡處在優(yōu)秀的狀態(tài)很簡單,只需要很短的停機時間。每個細(xì)節(jié)設(shè)計得很仔細(xì),使得儀器的效率大化,操作簡化。
自動操作
電鏡除了可以自動化設(shè)置外,還可進行聚焦、調(diào)節(jié)對比度/亮度等自動操作。除此之外,電鏡還有樣品臺自動導(dǎo)航與自動分析 程序,能明顯減少操作員的操作時間。通過內(nèi)置腳本語言(Python)可進入軟件的大多數(shù)功能,包括顯微鏡控制、樣品臺控制、圖像采集、處理與分析等。通過腳本語言用戶還可以自定義自動操作程序。
用戶界面友好的軟件與軟件工具
- 用戶界面友好的操作系統(tǒng)基于Windows™平臺,多用戶和多語言操作界面
- 同時的FIB/SEM成像,易于操作
- 實時圖像支持多窗口模式,可自定義實時圖像參數(shù)
- 圖像處理,報告生成,在線與離線圖像處理
- 項目管理軟件
- 內(nèi)置的自動診斷(自檢)
- TCP/IP遠(yuǎn)程控制,網(wǎng)絡(luò)操作與遠(yuǎn)程進入/診斷
- 免費升級軟件
FERA3 GM
FERA3 GM是一款由計算機*控制的Xe等離子聚焦離子束(i-FIB)場發(fā)射掃描電子顯微鏡,可選配氣體注入系統(tǒng) (GIS),可在高真空和低真空模式下工作,其具有突出的光學(xué)性能、清晰的數(shù)字化圖像、成熟和用戶界面友好的SEM/FIB/GIS操作軟件等特點?;赪indows™平臺的操作軟件提供了簡單的電鏡操作和圖像采集,可以保存標(biāo)準(zhǔn)文件格式的圖片,可以對圖像進行管理、處理和測量,實現(xiàn)了電鏡的自動設(shè)置和許多其它自動操作。
FERA3 XM
FERA3 XM是一款由計算機全控制的Xe等離子聚焦離子束(i-FIB)場發(fā)射掃描電子顯微鏡,可選配氣體注入系統(tǒng) (GIS),可在高真空和低真空模式下工作,其具有突出的光學(xué)性能、清晰的數(shù)字化圖像、成熟和用戶界面友好的SEM/FIB/GIS操作軟件等特點。基于Windows™平臺的操作軟件提供了簡易的電鏡操作和圖像采集,可以保存標(biāo)準(zhǔn)文件格式的圖片,可以對圖像進行管理、處理和測量,實現(xiàn)了電鏡的自動設(shè)置和許多其它自動操作。