TM-320多用途精密測量顯微鏡
儀器自帶偏光裝置兼具高級偏光顯微鏡功能，適合于工廠、研究所、大專院校等用于產(chǎn)品檢測、觀察和分析。TM-320測量顯微鏡符合人機工程學要求的設計，使您在工作中感到舒適和放松。
一、儀器用途TM-320多用途精密測量顯微鏡
TM-320多用途精密測量顯微鏡可用于半導體工業(yè)、硅片制造業(yè)、電子信息產(chǎn)業(yè)、精密機械加工、橡塑材料等領域的精密測量，也可作為高級金相顯微鏡用于金相材料觀察和分析。儀器自帶偏光裝置兼具高級偏光顯微鏡功能，適合于工廠、研究所、大專院校等用于產(chǎn)品檢測、觀察和分析。TM-320測量顯微鏡符合人機工程學要求的設計，使您在工作中感到舒適和放松。
二、TM-320測量顯微鏡規(guī)格
（一）測量范圍： X: 300mm; Y: 200mm
（二）數(shù)顯分辨率： 0.0005mm
（三）工作臺尺寸： 500×350mm(玻璃臺面尺寸：356×262mm)
（四）儀器測量準確度：≤（3+L/75）um （L為被測長度）
（五）儀器的質(zhì)量： 100kg
（六）儀器外形尺寸： 560×820×670mm
（七）輸入電壓： AC220/50Hz ±10%
（八）光學基本參數(shù)
物鏡 | 目鏡 | 總放大倍數(shù) | 工作距離(mm) | 視場直徑(mm) | ||
放大倍數(shù) 數(shù)值孔徑 | 分辨 率(μm) | 放大 倍數(shù) | 視場(mm) | |||
5×/0.15 | 2.24 | 10× | 25 | 50× | 44 | 5 |
10×/0.3 | 1.12 | 100× | 34 | 2.5 | ||
20×/0.35 | 0.96 | 10× | 20(帶0.1mm 十字分劃板) | 200× | 30 | 1.25 |
50×/0.5 | 0.67 | 500× | 17 | 0.5 | ||
1、光學系統(tǒng)：無限遠光學系統(tǒng)，鏡筒透鏡f=200mm
2、觀察鏡筒：正像，人性化三目，觀察角度0°～45°可調(diào)
3、物鏡：95mm平場無限遠長工作距離復消色差物鏡M Plan Apo
4、物鏡轉(zhuǎn)換器：大四孔物鏡轉(zhuǎn)換器
5、偏光裝置：檢偏鏡可360°轉(zhuǎn)動。起偏鏡、檢偏鏡均可移出光路
（九）照明光源
1.反射照明： 柯勒照明（帶孔徑光欄和視場光欄）
鹵素燈12V50W，光強度連續(xù)可調(diào)
2.透射照明： 遠心照明，鹵素燈12V50W，光強度連續(xù)可調(diào)
3.斜射照明： 12V，50W （雙鹵鎢燈、光強度連續(xù)可調(diào)）（選購件）
（十）CCD接口
采用標準C接口、可連接CCD和數(shù)碼相機進行影像測量。
