MEGATORR逆流防止閥M-NW50泵用閥
MEGATORR逆流防止閥M-NW50泵用閥
逆流防止閥M-NW50,M-NW30H,M-NW40H
安裝在真空排氣泵上部,是在排氣泵緊急停止時(shí)切斷排氣線的部件。在成膜、剝離過(guò)程中產(chǎn)生的反應(yīng)產(chǎn)物和粉塵在Chamber內(nèi)和排氣系統(tǒng)中累積過(guò)程中如果泵緊急停止的話,會(huì)引起Chamber內(nèi)粉塵的飛揚(yáng)和管道等造成的Chamber內(nèi)產(chǎn)品污染。通過(guò)使用Chamber防護(hù),在停止泵時(shí),通過(guò)瞬間切斷排氣系統(tǒng),防止粉塵逆流,保護(hù)產(chǎn)品不受污染。
非加熱插槽蝶泳閥門(mén)MR15KFVSP572,MR30ITV000SN,MR18KFVSF605
通過(guò)閥部0~90°可變來(lái)進(jìn)行真空壓力控制的節(jié)流閥。各種真空室(蝕刻裝置等)的壓力控制可以快速響應(yīng),通過(guò)與AP系列控制器/電容計(jì)并用,可以在半導(dǎo)體等工藝中獲得高速響應(yīng)、真空壓力控制。
寬帶閥040(NW40),050(NW50),063(NW63),075(NW80)
在以往的真空壓力控制中,隨著過(guò)程的多樣化,壓力控制范圍也呈現(xiàn)出多樣化的趨勢(shì),特別是在低真空(高壓)下壓力控制的需求增加。閥門(mén)加熱溫度也一樣,隨著過(guò)程氣體的多樣化,變得更需要溫度。為了滿(mǎn)足您的要求而開(kāi)發(fā)的是這個(gè)寬帶閥門(mén)。
寬壓力控制范圍:101.33kPa(大氣壓)~10Pa以下(760Torr~70mTorr以下)可以控制,還能加熱到200℃。