VGT-907FTA太陽能電池硅片超聲波清洗機(jī)
VGT-907FTA太陽能電池硅片超聲波清洗機(jī)
型號(hào):VGT-907FTA
產(chǎn)品特點(diǎn):
1.人機(jī)界面,PLC控制;
2.采用單臂機(jī)械手,可靈活調(diào)節(jié)清洗工藝;
3.各清洗槽設(shè)置拋動(dòng)機(jī)構(gòu),保證清洗效果;
4.采用超聲波清洗、鼓所沖洗等工藝;
5.采用28KHZ、40KHZ多頻段超聲波;
6.全封閉機(jī)構(gòu),外形美觀。
7.設(shè)備內(nèi)部安裝有維修照明燈,方便維修。
8.上下料有手推車,方便員工操作。
應(yīng)用范圍:
1、爐前清洗:擴(kuò)散前清洗。
2、光刻后清洗:除去光刻膠。
3、氧化前自動(dòng)清洗:氧化前去掉硅片表面所有的沾污物。
4、拋光后自動(dòng)清洗:除去切、磨、拋的沾污。
5、外延前清洗:除去埋層擴(kuò)散后的SiO2及表面污物。
6、合金前、表面鈍化前清洗:除去鋁布線后,表面雜質(zhì)及光膠殘?jiān)?/span>
7、離子注入后的清洗:除去光刻膠,SiO2層
8、擴(kuò)散預(yù)淀積后清洗:除去預(yù)淀積時(shí)的BSG和PSG。
9、外延前清洗:除去埋層擴(kuò)散后的SiO2及表面污物。
10、CVD后清洗:除去CVD過程中的顆粒。
技術(shù)參數(shù):
超聲波功率:3.5KW
超聲波頻率:28,40,60KHZ
換能器數(shù)量:7個(gè)
電源電壓:220V/380V
技術(shù)優(yōu)勢(shì):
適用于2”-8”基片的半導(dǎo)體清洗工藝中,有效去除硅/晶片表面的有機(jī)物、顆粒、金屬雜質(zhì)、自然氧化層及石英、塑料等附件器皿的污染物,且不破壞晶片表面特性。根據(jù)不同清洗工藝配置相應(yīng)的清洗單元,各部分有獨(dú)立控制,隨意組合