在确定了工艺要求的真空度的基础上检查真空泵系统的极限真空度，因为系统的极限真空度决定了系统的工作真空度。一般来讲，系统的极限真空度比系统的工作真空度低20%，比前级泵的极限真空度低50%。
检查确定工艺要求的抽气种类与抽气量。因为如果被抽气体种类与泵内液体发生反应，泵系统将被污染。同时必须考虑确定合适的排气时间与抽气过程中产生的气体量。
贝克真空泵在旋片式真空泵中的功效首要是冷却、密封性和润滑,在真空度较高时还起顶开自动排气阀的功效。进油量对旋片式真空泵的真空度有一定的危害。进油量过少,形不成油封,保障不了封口功效,贝克真空泵的真空度就降低。进油量过少,满足不了润滑的标准,泵还将会导致超量损坏。进油量过多,泵务必把超量的油排出来, 起了类似于油泵的功效, 为此噪声提升,耗费功率提升,发烫厉害,泵油的饱和蒸汽压上升,黏度降低,油的密封功能减少,泵的真空度也就降低。比如一台旋片式真空泵, 试制时进油孔没有按图加工,以至进油量过大,使泵气温高达83℃(室内温度25℃),真空度也就达不到标准。然后把进油量适当降低,泵温即降至65℃。为此觉得操纵进油量对提升泵的真空度有一定的影响。该真空系统的控制系统由*的PLC控制系统经过编程后组成,以触摸屏为人机界面,实现对真空系统、工件行走、磁控靶、工艺设定和执行、报警保护系统等的全自动化控制。
