Huace-6S高低溫探針臺

高低溫探針臺

     探針臺是一種輔助執(zhí)行機構(gòu)，測試人員把需要量測的器件放到探針臺載物臺（chuck）上，在顯微鏡配合下，X-Y移動器件，找到需要探測的位置。接下來測試人員通過旋轉(zhuǎn)探針座上的X-Y-Z的三向旋鈕，控制前部探針（射頻或直流探針），精準(zhǔn)扎到被測點，從而使其訊號線與外部測試機導(dǎo)通，通過測試機測試人員可以得到所需要的電性能參數(shù)。

產(chǎn)品特點及應(yīng)用

◆可用于12英寸以內(nèi)樣品測試；

◆ 采用密閉腔結(jié)構(gòu)，屏蔽外部電信干擾同時保持氮氣正壓環(huán)境下樣品在低溫時無結(jié)霜；

◆ 優(yōu)化的腔體保溫結(jié)構(gòu)可以極大的減少液氮消耗量；

◆ 可升降調(diào)節(jié)適合加裝探針卡；

◆ 可搭配多種類型顯微鏡；

◆ 結(jié)構(gòu)模塊化設(shè)計，可無縫升級；

◆ 探針臺可根據(jù)客戶要求定制。

臺體規(guī)格

尺寸：6英寸/8英寸/12英寸；
水平旋轉(zhuǎn)：可360°旋轉(zhuǎn)，可微調(diào)15°，精度0.1°，帶角度鎖死裝置；

X-Y移動行程：6英寸×6英寸/8英寸×8英寸/12英寸×12英寸；

X-Y移動精度：10μm/1μm；
樣品固定：真空吸附，中心吸附孔，多圈吸附環(huán)；
針座平臺：U型針座平臺，**可放置6~12個探針座；
平臺升降：可快速升降10mm/可微調(diào)升降10mm；
背電極測試：樣品臺電學(xué)獨立懸空，4mm插孔可接背電極；

溫度范圍：-80℃~+400℃；

溫度精度：0.01℃/0.1℃/1℃；

尺寸：840mm長*600mm寬*700mm高/950mm長*700mm寬*700mm高；
設(shè)備重量：約40/60KG；

光學(xué)系統(tǒng)

顯微鏡類型：單筒顯微鏡/體式顯微鏡/金相顯微鏡；
放大倍率：16X-200X/20X-4000X；
移動行程：水平方向繞立柱旋轉(zhuǎn)/XY軸移動4英寸，Z軸行程50.8mm；
光源：外置LED環(huán)形光源/同軸光源；
CCD：200萬像素/500萬像素/1200萬像素；

定位器

X-Y-Z移動行程：12mm*12mm*12mm；
移動精度：10μm/2μm/0.7μm/0.5μm；
吸附方式：磁力吸附/真空吸附；
線纜：同軸線/三軸線；
漏電精度：10pA/100fA/10fA；

固定探針：彈簧固定/管狀固定；
接頭類型：BNC/三軸/香蕉頭/鱷魚夾/接線端子；
針尖直徑：0.2μm/1μm/2μm/5μm/10μm/20μm；
針尖材質(zhì)：鎢鋼；鈹銅；

可選附件

加熱臺；
顯示器；
轉(zhuǎn)接頭；
射頻測試配件；
屏蔽箱；

光學(xué)平臺；
鍍金卡盤；
光電測試配件；
顯微鏡快速傾仰裝置；

激光系統(tǒng)；

探針卡夾具；

華測真空高低溫探針臺