本產(chǎn)品采用“激光分選”工藝制作的微型傳感器,氣體層流結(jié)構(gòu)精密均勻,高耐腐蝕,使得MFC具有更*的性能優(yōu)勢:DSN--D300C氣體質(zhì)量流量計
1.高的可靠性、穩(wěn)定性和重復性。DSN--D300C氣體質(zhì)量流量計
2.高精密的控制機構(gòu)。
3.高速響應 MFM< 0.5秒; (MFC通常< 4s)。
4.長壽命(正常使用可達十年以上)。
5.采用微小尺寸的傳感器,消除了“傳感器”本身熱效應對層流的破壞,“零點漂移”小于1%。
6.可自行清除工作過程中的表面污物(注:此項操作須在生產(chǎn)廠家進行)。
7.適應于一切氣體(包括腐蝕性氣)。
8.一體化設(shè)計,*的抗電磁干擾性能。
具體參數(shù):
1. 外形尺寸(不帶接頭):130*45*140(mm)
2. 重量:2.3KG
3. 流量范圍:0-300L/min
4. 工作壓差:0.05-0.35Mpa
5. 電源:±15V,電流不低于500 m A
6. 泄漏率 :< 1×10-8sccs He
7. 耐壓:3Mpa
8. 材料:316L
9. 標準密封:Viton® O-ring
10. 工作環(huán)境溫度:0-45℃
11. 接口尺寸:Ø10 3/8(通徑Ø6, Ø8)
附:壓差流量對照表
工作壓差(MPa) 0.1 0.2 0.25 0.3 0.35
流量范圍(SLM) 0~100 0~200 0~250 0~300 0~300