ALICAT 標(biāo)準(zhǔn)質(zhì)量流量控制器美國ALICAT 標(biāo)準(zhǔn)型質(zhì)量流量控制器,采用內(nèi)部補(bǔ)償型層流壓差技術(shù),使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運(yùn)動。內(nèi)置的絕壓和溫度傳感器充分補(bǔ)償因壓力和溫度引起的體積流量與質(zhì)量流量間的差異,并對用戶標(biāo)準(zhǔn)工況進(jìn)行修正。所有Alicat質(zhì)量流量控制器均具有NIST可溯源校準(zhǔn)證書。Alicat的標(biāo)準(zhǔn)數(shù)字式質(zhì)量流量計(jì)可用于快速精確地測量并控制過程氣體的質(zhì)量流量、體積流量、壓力,并顯示氣體溫度,適用于多種流量測控場合。設(shè)備采用快速穩(wěn)定的優(yōu)質(zhì)電磁閥以及優(yōu)化的PID調(diào)校,可達(dá)到由于100ms的控制速度,并保持穩(wěn)定性,并有超低壓降產(chǎn)品可供您選擇。
ALICAT 標(biāo)準(zhǔn)質(zhì)量流量控制器
- ● 數(shù)字化產(chǎn)品
- ● 多參數(shù)顯示和輸出:溫度、壓力、流量等
- ● 多參數(shù)控制,如體積流量、質(zhì)量流量和壓力
- ● 標(biāo)配三種控制方式:數(shù)字、模擬和本地面板
- ● 可選高精度:優(yōu)于0.5%
- ● 高量程比 200:1
- ● 響應(yīng)時間快 僅需100ms
- ● 內(nèi)置98種氣體
- ● 可現(xiàn)場標(biāo)定混合氣體,并存儲20種混合氣
- 介質(zhì)要求:非腐蝕性、潔凈、干燥的氣體
介質(zhì)種類:內(nèi)置了98種氣體,請參考背面氣體兼容表
一臺設(shè)備內(nèi)置所有氣體,用戶可現(xiàn)場選擇
量程:從0-0.5SCCM 到 0-3000SLPM(詳情請咨詢)
量程比:200:1
大顯示流量:102.4%FS
顯示屏:同時顯示質(zhì)量流量、體積流量、壓力、溫度
精度:± (0.8%RD+0.2%FS),RD-讀數(shù) FS-滿量程
高精度:±(0.4%Rd + 0.2%FS),選配
僅適用于量程為5SCCM-500SLPM的設(shè)備
重復(fù)性:± 0.2% FS
零點(diǎn)漂移&滿量程漂移:0.02% F.S / oC / Atm
預(yù)熱時間:< 1s
響應(yīng)時間:100ms(可調(diào))
標(biāo)定工況:25oC & 100kPa 絕壓、20oC & 100kPa 絕壓、0oC & 100kPa 絕壓 (三種工況現(xiàn)場可切換)
工作溫度:-10 ~ +50 oC
工作濕度:0-,無冷凝
標(biāo)準(zhǔn)大工作壓力:1MPa 表壓
標(biāo)準(zhǔn)極限耐壓:1.2MPa 表壓
中壓選項(xiàng):2MPa
數(shù)字輸入/輸出信號:RS232、RS485、Modbus、Profibus*
模擬輸入/輸出信號:0-5Vdc、1-5Vdc、 0-10Vdc、4-20mA
供電電壓:7-30 Vdc (如選4-20 mA輸出,須為15-30 Vdc)
供電電流:250mA ~ 750mA
電氣接口:8針Mini-DIN、DB9、DB15、6針工業(yè)接頭
材質(zhì):302不銹鋼、Viton、硅膠RTV、玻璃增強(qiáng)尼龍、鋁、黃銅、 430FR 不銹鋼、 硅、 玻璃
防護(hù)等級:IP40
* 如選Profibus,則無模擬信號,無顯示,其供電電壓及供電電流需咨詢我們