臺達400W高速高精度伺服驅(qū)動器-東莞吉創(chuàng)
臺達400W高速高精度伺服驅(qū)動器特點
1、運行穩(wěn)定;
2、可控性好;
3、響應(yīng)快速;
4、靈敏度高;
5、機械特性和調(diào)節(jié)特性的非線性度指標嚴格(要求分別小于10%~15%和小于15%~25%)等特點;臺達伺服電機|ASD-A2-0421-E|原裝*
臺達400W高速高精度伺服驅(qū)動器優(yōu)勢
伺服電機有交流伺服電機和直流伺服電機兩種,臺達伺服電機屬于交流伺服電機,與直流伺服電機比較,主要優(yōu)勢如下:臺達伺服電機|ASD-A2-0421-E|原裝*
1、無電刷和換向器,因此工作可靠,對維護和保養(yǎng)要求低;
2、定子繞組散熱比較方便;
3、慣量小,易于提高系統(tǒng)的快速性;
4、適應(yīng)于高速大力矩工作狀態(tài);
5、同功率下有較小的體積和重量。
臺達400W高速高精度伺服驅(qū)動器的應(yīng)用案例
隨著世界能源供應(yīng)的日趨緊張,可再生能源光伏產(chǎn)品發(fā)展迅猛,據(jù)行業(yè)統(tǒng)計2005年全國太陽能電池產(chǎn)能為300MW,到 2007年已發(fā)展到1000MW,到2010年我國太陽能電池/組件產(chǎn)能將達到5000MW以上,顯示出對單晶和多晶硅有很大的市場需求,比原來的市場預期提前了10年以上,也預示出單晶硅爐的市場需求將成倍增長。單晶硅爐是半導體材料直拉法晶體設(shè)備,其硅單晶棒料經(jīng)切割等后續(xù)工藝處理成芯片被制作為二極管.太陽能電池.集成電路等半導體材料的主要器件。近幾年來由于能源危機及地球環(huán)境改善帶來對新能源,可再生能源的巨大需求,光伏產(chǎn)業(yè)出現(xiàn)*的增長,半導體硅材料的生產(chǎn)又進入新的發(fā)展期,因此大力加速發(fā)展可再生能源.硅光伏產(chǎn)業(yè)及共基礎(chǔ)材料---高純半導體硅(單晶.多芯片)材料已成為當務(wù)之急,而硅材料的生長離不開單晶硅爐和多晶硅爐的設(shè)備支持。
二、單晶硅爐的工藝流程簡介、技術(shù)需求及方案的分析
2-1、單晶硅爐的工藝流程簡介
單晶硅爐爐的組成組件可分成四部分
(1)爐體:包括石英坩堝,石墨坩堝,加熱及絕熱組件,爐壁
(2)晶棒及坩堝拉升旋轉(zhuǎn)機構(gòu):包括籽晶夾頭,吊線及拉升旋轉(zhuǎn)組件
(3)氣氛壓力控制:包括氣體流量控制,真空系統(tǒng)及壓力控制閥
(4)控制系統(tǒng):包括偵測感應(yīng)器及電腦控制系統(tǒng)
加工工藝:
加料→熔化→縮頸生長→放肩生長→等徑生長→尾部生長
(1)加料:將多晶硅原料及雜質(zhì)放入石英坩堝內(nèi),雜質(zhì)的種類依電阻的N或P型而定。雜質(zhì)種類有硼,磷,銻,砷。
(2)熔化:加完多晶硅原料于石英堝內(nèi)后,長晶爐必須關(guān)閉并抽成真空后充入高純氬氣使之維持一定壓力范圍內(nèi),然后打開石墨加熱器電源,加熱至熔化溫度(1420℃)以上,將多晶硅原料熔化。
(3)縮頸生長:當硅熔體的溫度穩(wěn)定之后,將籽晶慢慢浸入硅熔體中。由于籽晶與硅熔體場接觸時的熱應(yīng)力,會使籽晶產(chǎn)生位錯,這些位錯必須利用縮勁生長使之消失掉。縮頸生長是將籽晶快速向上提升,使長出的籽晶的直徑縮小到一定大小(4-6mm)由于位錯線與生長軸成一個交角,只要縮頸夠長,位錯便能長出晶體表面,產(chǎn)生零位錯的晶體。
(4)放肩生長:長完*之后,須降低溫度與拉速,使得晶體的直徑漸漸增大到所需的大小。
(5)等徑生長:長完*和肩部之后,借著拉速與溫度的不斷調(diào)整,可使晶棒直徑維持在正負2mm之間,這段直徑固定的部分即稱為等徑部分。單晶硅片取自于等徑部分。
(6)尾部生長:在長完等徑部分之后,如果立刻將晶棒與液面分開,那么效應(yīng)力將使得晶棒出現(xiàn)位錯與滑移線。于是為了避免此問題的發(fā)生,必須將晶棒的直徑慢慢縮小,直到成一尖點而與液面分開。這一過程稱之為尾部生長。長完的晶棒被升*爐室冷卻一段時間后取出,即完成一次生長周期。