放大倍率標(biāo)準(zhǔn)樣品-掃描電鏡
該標(biāo)樣用于掃描電鏡（包括電子探針等）儀器主要性能的校驗(yàn)和檢驗(yàn)，如圖像的放大倍率檢驗(yàn)與調(diào)整、掃描圖像畸變的調(diào)整、像散調(diào)節(jié)以及樣品臺(tái)的復(fù)位檢驗(yàn)等，是掃描電鏡儀器驗(yàn)收、儀器年度檢驗(yàn)、計(jì)量認(rèn)證、實(shí)驗(yàn)室認(rèn)可等考核中需要的標(biāo)準(zhǔn)樣品。
放大倍率標(biāo)準(zhǔn)樣品-掃描電鏡
該標(biāo)樣用于掃描電鏡（包括電子探針等）儀器主要性能的校驗(yàn)和檢驗(yàn)，如圖像的放大倍率檢驗(yàn)與調(diào)整、掃描圖像畸變的調(diào)整、像散調(diào)節(jié)以及樣品臺(tái)的復(fù)位檢驗(yàn)等，是掃描電鏡儀器驗(yàn)收、儀器年度檢驗(yàn)、計(jì)量認(rèn)證、實(shí)驗(yàn)室認(rèn)可等考核中需要的標(biāo)準(zhǔn)樣品。同時(shí)，該標(biāo)準(zhǔn)樣品也是掃描電鏡微米納米長(zhǎng)度精確測(cè)量的標(biāo)準(zhǔn)樣品、是微米長(zhǎng)度測(cè)量的高可溯源級(jí)別的量值傳遞工具。是多個(gè)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)文件GB/W 27788、16594、17722、20307、JJG550等實(shí)施所需的標(biāo)準(zhǔn)樣品。
放大倍率標(biāo)準(zhǔn)樣品-掃描電鏡
特點(diǎn)：
1、擁有現(xiàn)代的加工工藝，研制技術(shù)本身具有足夠的精度等保證其質(zhì)量
2、底層鍍有純鈦層，表面有120nm厚的Au膜，不僅可長(zhǎng)期穩(wěn)定保存，而且具有良好的導(dǎo)電性
3、具有格柵狀雙向結(jié)構(gòu)，與早期使用的初級(jí)銅網(wǎng)結(jié)構(gòu)相似，是可以同時(shí)對(duì)任意兩個(gè)垂直方向上的掃描電鏡、電子探針的圖像的放大倍率進(jìn)行檢查或校正的標(biāo)樣
4、有德國(guó)PTB國(guó)際計(jì)量型原子力顯微鏡的測(cè)量研究報(bào)告和研制者的研制報(bào)告正式發(fā)布(見(jiàn)“掃描電鏡測(cè)長(zhǎng)問(wèn)題的討論”一書(shū))，即采用目前精度高、可溯源的檢測(cè)方法，有可靠的文獻(xiàn)依據(jù)
5、S1000曾經(jīng)過(guò)我國(guó)國(guó)家計(jì)量研究院的多次檢驗(yàn)測(cè)試，并多次獲得合格證書(shū)；
6、S1000早在2005年通過(guò)全國(guó)微束標(biāo)委會(huì)的有關(guān)專家評(píng)審?fù)ㄟ^(guò)，具備報(bào)批國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)樣品的資格，證明其質(zhì)量?jī)?yōu)良
7、公開(kāi)出版的“掃描電鏡測(cè)長(zhǎng)問(wèn)題的討論”專著實(shí)際上是一本S1000的綜合性的研制報(bào)告；；
8、價(jià)格低廉，易于保存、易于普及到每個(gè)掃描電鏡和電子探針實(shí)驗(yàn)室
9、功能多，用途多
(1)可用于同時(shí)對(duì)任意兩個(gè)垂直方向上的掃描電鏡的圖像的放大倍率進(jìn)行檢查或校正，是校準(zhǔn)從10× ~ 100，000×及以上范圍的圖像放大倍率的有效的圖形標(biāo)準(zhǔn)樣品：是執(zhí)行GB/T27788 “微束分析一掃描電鏡一圖像放大倍率校準(zhǔn)導(dǎo)則”一個(gè)精準(zhǔn)的校準(zhǔn)標(biāo)樣
(2)可直接用于同一量級(jí)物體，毫米量級(jí)到納米量級(jí)長(zhǎng)度的精確比對(duì)測(cè)量，是執(zhí)行GB/T 16594和GB/T 20307 微米和納米測(cè)量的一個(gè)不能缺少的精準(zhǔn)的度量工具
(3)可用于對(duì)圖像的X、Y方向上的畸變和邊緣的畸變進(jìn)行校驗(yàn)，是評(píng)價(jià)掃描電鏡圖像質(zhì)量的一個(gè)重要工具
(4)對(duì)樣品臺(tái)傾斜角和電子傾斜以及旋轉(zhuǎn)調(diào)整功能的檢驗(yàn)也有較好的作用
(5)利用標(biāo)樣上的“點(diǎn)子”圖像，可對(duì)電子束作漂移檢驗(yàn)和樣品臺(tái)復(fù)位檢驗(yàn)
用途：
(1)可用于同時(shí)對(duì)任意兩個(gè)垂直方向上的掃描電鏡的圖像的放大倍率進(jìn)行檢查或校正，是校準(zhǔn)從10×~100,000×范圍的圖像放大倍率的有效的圖形標(biāo)準(zhǔn)樣品
(2)可用于對(duì)圖像的X、Y方向上的畸變和邊緣的畸變進(jìn)行校驗(yàn)，是評(píng)價(jià)掃描電鏡圖像質(zhì)量的個(gè)重要工具
(3)可直接用于同一量級(jí)物體長(zhǎng)度的精確比對(duì)測(cè)量
(4)對(duì)樣品臺(tái)傾斜角和電子傾斜以及旋轉(zhuǎn)調(diào)整功能的檢驗(yàn)也有較好的作用
(5)利用標(biāo)樣上的“點(diǎn)子”圖像，可對(duì)電子束作漂移檢驗(yàn)和樣品臺(tái)復(fù)位檢驗(yàn)
標(biāo)準(zhǔn)樣品的形狀、規(guī)格和包裝：
S1000微米-亞微米級(jí)系列標(biāo)樣，總體為5mm×5mm×0.5mm(長(zhǎng)×寬×厚)大小的小方塊。主體圖形為一個(gè)“回”字形的方框，最外框邊長(zhǎng)約為2mm,內(nèi)框的邊長(zhǎng)約為1.2mm,內(nèi)框里面用X、Y軸分為4個(gè)象限，X、Y軸上制作有垂直坐標(biāo)軸方向的線距20μm的短平行線條，4個(gè)象限上分別是線距為40μm、20μm、10μm的方格網(wǎng)狀圖形和線距為5μm的X、Y雙向平行線條圖形，內(nèi)框的中部又是“回”字形的方框，大框的邊長(zhǎng)約為160m,小框邊長(zhǎng)約50μm，大框和小框之間在X方向和Y方向上都有線距為5μm的平行線條，小框里面是線距為1μm或0.5μm的X、Y雙向平行線條圖形(見(jiàn)圖1)，在5μm和1μm或0.5μm的線距結(jié)構(gòu)上還有一些十字形和圓點(diǎn)，可用于在較大放大倍率下圖像的聚集和像散調(diào)整，不同的線距大小可用于從10×~10000放大倍率范圍的校準(zhǔn)，而把40μm、20μm和10μm的線距結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)成方格形，是為了在對(duì)放大倍率進(jìn)行準(zhǔn)確校準(zhǔn)的同時(shí)，可以對(duì)圖像的畸變、像散等進(jìn)行校驗(yàn)，5μm的線距結(jié)構(gòu)也同時(shí)具有X、Y兩個(gè)方向的平行線條，是為了方便同時(shí)對(duì)X、Y兩個(gè)方向進(jìn)行放大倍的準(zhǔn)而不必機(jī)械旋轉(zhuǎn)標(biāo)準(zhǔn)器。
標(biāo)準(zhǔn)樣品的穩(wěn)定性：
標(biāo)準(zhǔn)樣品基質(zhì)材料為單晶硅或石英玻璃基片，材料性質(zhì)穩(wěn)定。在對(duì)標(biāo)準(zhǔn)樣品進(jìn)行觀察時(shí)，可看到標(biāo)準(zhǔn)樣品具有良好的導(dǎo)電性，并且在掃描電鏡下所產(chǎn)生的圖形具有很好的對(duì)比度，在掃描電鏡下或光學(xué)顯微鏡下進(jìn)行多次長(zhǎng)時(shí)間的觀察后，未見(jiàn)標(biāo)準(zhǔn)樣品圖形或線距結(jié)構(gòu)發(fā)生變形或其他損壞，即標(biāo)準(zhǔn)樣品在電子束重復(fù)照射下是穩(wěn)定的。
