刻蝕設備PlasmaPro1000 Astrea新型的PlasmaPro1000 Astrea刻蝕設備,該設備可以為PSS, GaN 和AlGaInP提供大批量刻蝕提供解決方案,有助于HBLED制造商提高良率和降低使用者成本。
該設備可以批量刻蝕55 x 2” 到 3 x 8”的晶片,設備*的設計符合了HBLED材料嚴苛的化學要求。PlasmaPro1000 Astrea損耗低、產(chǎn)量高,以保證客戶芯片的大光輸出。
刻蝕設備PlasmaPro1000 Astrea該設備的高配置體現(xiàn)在,處理腔可作為獨立模塊或集群配置,也可升級為四面集群設備以支持三個生產(chǎn)模塊。
為確保該設備高稼動率性和易維護性,它的主要特性和優(yōu)勢包括:
行業(yè)*,可處理直徑為690mm和高均勻性要求的等離子源。
490mm的電極,可大批量處理55x2”, 14x4”, 7x6” 到3x8”尺寸的晶片
高電導泵系統(tǒng)
雙進氣口使制程調整更順暢
為晶片冷卻提供大夾具
Z字型的移動方式確保晶片的均勻性
硬件穩(wěn)定和易于維護,確保正常運行時間
上海繪吉電子科技有限公司主要代理歐、美、日及國內*科學儀器、工業(yè)質檢儀器及相關消耗品,專業(yè)涉及高校、新能源、鋼鐵行業(yè)、科研研究及輕工化工、在國內特別是華東地區(qū)具有廣泛的客戶基礎和良好的商業(yè)信譽。經(jīng)過幾年的發(fā)展,繪吉公司已經(jīng)在同行業(yè)中確立了多方面的好的地位,無論在公司規(guī)模、人員素質、經(jīng)營品種、銷售能力和售后服務等各方面獲得了同行及用戶的廣泛認可。 上海繪吉電子科技有限公司從事分析類儀器(熒光光譜儀,質譜儀,粒度儀,真空系列等分析類設備),電池材料制備設備,實驗室儀器,理化分析類儀器,微生物儀器,生理儀器及實驗室耗材。