七星質(zhì)量流量控制器氣體質(zhì)量流量控制器（MFC）和氣體質(zhì)量流量計(jì)（MFM用于對氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密控制和測量。它們在半導(dǎo)體集成電路工藝、特種材料、化學(xué)工業(yè)、石油工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)保和真空等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的應(yīng)用。其典型的應(yīng)用場合包括: 集成電路工藝設(shè)備, 如外延爐、擴(kuò)散爐、CVD、等離子刻蝕機(jī)、濺射臺、離子注入機(jī); 以及鍍膜設(shè)備、光纖熔煉設(shè)備、微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)、氣體取樣裝置、毛細(xì)管測量儀、氣相色譜儀及其它分析儀器。

CS200-A,C,D 型 MFC/ MFM 是七星流量控制器生產(chǎn)的數(shù)字型產(chǎn)品，為氣體質(zhì)量流量的控制、測量提供了高準(zhǔn)確度及高可靠性。該型產(chǎn)品可同時(shí)支持?jǐn)?shù)字信號，0～5V 模擬信號，4～20mA 或 0~20mA 模擬信號，可以使用雙電源（±8～±16 VDC ）或單電源（+14～+28 VDC）。支持自動(dòng)故障報(bào)警，多氣體多量程等功能。標(biāo)準(zhǔn)開放的通訊協(xié)議為客戶自行開發(fā)控制、采集軟件提供便利。提供功能強(qiáng)大的免費(fèi)客戶端上位機(jī)軟件Digital MFC。CS200-C 與CS200-D 產(chǎn)品所有與氣體接觸的表面均為不銹鋼金屬，其中 CS200-C 金屬表面符合 SEMI 標(biāo)準(zhǔn)的要求