45°C 電容式膜片真空計
優(yōu)點
擁有成本更低，預熱速度快 50%，節(jié)能，低功耗
易于集成，各種滿刻度、法蘭和接口，標配兩個設定點
輕松一鍵調零或遠程信號調零指令，可調零點偏移
診斷端口用于快速維修和維護
兩年保修服務，*的加熱概念和真空計保護延長了使用壽命
的信號穩(wěn)定性和可重復性，即使是較苛刻的等離子應用，都無需*執(zhí)行重新校準
合規(guī)性與標準：CE、EN、UL、SEMI、RoHS
產品介紹45°C 電容式膜片真空計
優(yōu)點
- 擁有成本更低，預熱速度快 50%，節(jié)能，低功耗
- 易于集成，各種滿刻度、法蘭和接口，標配兩個設定點
- 輕松一鍵調零或遠程信號調零指令，可調零點偏移
- 診斷端口用于快速維修和維護
- 兩年保修服務，*的加熱概念和真空計保護延長了使用壽命
- 的信號穩(wěn)定性和可重復性，即使是苛刻的等離子應用，都無需*執(zhí)行重新校準
- 合規(guī)性與標準：CE、EN、UL、SEMI、RoHS
典型應用45°C 電容式膜片真空計
- 用于刻蝕、CVD、PVD 和其他半導體制造過程
- 化學及腐蝕真空過程
- 一般薄膜和真空過程
- 基準傳感器用于監(jiān)控測試儀器是否符合標準
- 符合傳遞標準，確保測量可追溯性
- 主要代理業(yè)務 ：
1、美國Inficon的石英晶體膜厚控制儀，氦質譜檢漏儀、真空規(guī)管、壓強控制儀、真空閥門、真空法蘭、四級質譜儀。
2、美國Varian分子泵、擴散泵、干泵、氦質譜檢漏儀、真空規(guī)管、真空閥門、真空法蘭。
3、美國Telemark電子槍、超低溫冷阱、880型石英晶體膜厚控制儀、晶振片。
4、日本日立公司的質量流量計（原美國AE）。
5、美國Angstrom Sciences 磁控濺射陰極和靶材、陰極翻新。
6、英國愛德華公司分子泵,機械泵,干泵,真空計,各種真空閥門
