一、 概述A601型氦氣氟油加壓儀
背壓檢漏法是在氦質(zhì)譜檢漏法中應(yīng)用較廣泛的方法之一,它主要用于封離電子器件、半導(dǎo)體器件和具有內(nèi)空腔的微電路封裝等元件的氣密性檢測。
A601型氦氣氟油加壓儀可以用于元器件進行氦質(zhì)譜檢漏前的氦氣加壓,也可將元器件置于輕氟油中做氟油檢漏前的加壓。做氦質(zhì)譜檢測時示蹤氣體為氦氣,進行氟油檢漏時示蹤物質(zhì)是輕氟油。
二、 主要技術(shù)指標
允許充壓: ≤0.8MPa
壓力容器尺寸: Ф150×200 ㎜
容器真空壓力: ≤100Pa
壓 力 表:0-1.0MPa
電 源 功 率: 220V 400W
三、使用條件
設(shè)備使用之前需準備滿足實驗需要的氮氣、氦氣和輕氟油(F113)
四、 設(shè)備結(jié)構(gòu)
該設(shè)備采取對稱結(jié)構(gòu),具有兩套功能*相同的檢測系統(tǒng),上面兩個容器用做元件在氦氣中加壓或浸在輕氟油中的氮氣加壓。下面兩個容器用來存放輕氟油。設(shè)備臺面上除加壓容器、控制閥門、壓力表還安裝有液位顯示裝置。臺面下部有機械泵、貯液罐和防止誤操作裝置等,設(shè)備操作開關(guān)和氣路閥門在機架的左側(cè)。
五、配置清單
序號 | 名稱 | 規(guī)格 | 數(shù)量 |
1 | 壓力容器 | Φ150x200mm | 2 個 |
2 | 樣品提籃 | Φ135x150mm | 2 個 |
3 | 輕氟油存儲器 | Φ150x200mm | 2 個 |
4 | 真空壓力閥 | 通經(jīng)Ф12 | 4個 |
5 | 真空壓力閥 | 通經(jīng)Ф6 | 7件 |
6 | 數(shù)顯壓力表 | 真空—10 大氣壓 | 2 塊 |
7 | 機械真空泵 | 3L/S | 1 臺 |
8 | 氟油顯示器 | 1 個 |