nXDS系列渦旋式干泵是下一代*無(wú)油的干式渦旋泵，并取代XDS系列。與傳統(tǒng) XDS 泵相比，nXDS 性能更強(qiáng)，抽速更高，極限壓力更低，功耗更低，噪聲更小。氣鎮(zhèn)允許泵送冷凝性蒸汽，包括水、溶劑、稀酸和堿。nXDS 還采用了的端部密封技術(shù)，顯著延長(zhǎng)了端部密封更換的時(shí)間間隔。具有自動(dòng)電壓輸入感知功能的集成變頻器驅(qū)動(dòng)提供整體優(yōu)化的泵送性能，nXDS 泵可*進(jìn)行現(xiàn)場(chǎng)維修。nXDS系列渦旋式干泵
一般清潔泵送應(yīng)用
· 電子掃描顯微鏡 - SEM
· 射束線和高能物理
· 前級(jí)渦輪泵
· 超高速離心機(jī)
· 覆層
· 低溫學(xué)
· 脫氣/硫化 - 油，環(huán)氧樹脂
· 蒸餾/萃取/過(guò)濾
· 冷凍干燥
· 熔爐
· 凝膠體干燥
· 實(shí)驗(yàn)室工作臺(tái)上真空
· 氦檢漏儀
· 負(fù)載鎖和傳輸腔
· 稀有氣體再循環(huán)
· 稀有氣體回收
· 冷凍制造
· 研發(fā)
· 旋轉(zhuǎn)離心蒸發(fā)器
· SEM/FIB（離子束維修）
· 溶劑回收
· 表面科學(xué)儀器
特點(diǎn)優(yōu)勢(shì)：
· 真空外殼中不需要使用潤(rùn)滑劑，*密封可保證*的清潔和干燥真空，防止交叉污染
· 無(wú)大氣壓到真空的軸封可使軸承*隔離，從而阻止制程攻擊，軸承也能以更低溫度運(yùn)行，使用時(shí)間更長(zhǎng)
· 簡(jiǎn)單的單側(cè)滾軸布置與創(chuàng)新的電機(jī)和軸承設(shè)計(jì)相結(jié)合，只需低程度的特殊工具，就能實(shí)現(xiàn)輕松的現(xiàn)場(chǎng)服務(wù)，因此可降低運(yùn)行成本，盡可能延長(zhǎng)正常運(yùn)行時(shí)間
· 改進(jìn)了電機(jī)和傳動(dòng)效率，可降低功耗和運(yùn)行成本
· *的接口提供了各種傳統(tǒng)、模擬和數(shù)字控制方法，可通過(guò) USB、RS232 或 RS485 實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程控制/監(jiān)視
